一种全透明柔性氧化镓日盲光电探测器及其制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115602741A(43)申请公布日2023.01.13(21)申请号202211256229.2(22)申请日2022.10.14(71)申请人山西工程技术学院地址045000山西省阳泉市开发区学院路(72)发明人王霞秦冬冬王豆刘增唐为华(74)专利代理机构北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙)11738专利代理师杨效忠(51)Int.Cl.H01L31/0224(2006.01)H01L31/032(2006.01)H01L31/102(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种全透明柔性氧化镓日盲光电探测器及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种全透明柔性氧化镓日盲光电探测器及其制备方法，包括：柔性氟晶云母衬底；第一石墨烯层，设于所述柔性氟晶云母衬底的表面；氧化镓薄膜，设于所述第一石墨烯层的表面；第二石墨烯层，设于所述氧化镓薄膜的表面；其中，所述第一石墨烯层和所述第二石墨烯层分别作为两个电极。该探测器通过采用柔性氟晶云母衬底可以实现探测器具有较高的柔韧性；由于石墨烯为透明材料，选择第一石墨烯层和第二石墨烯层作为两个电极可以使光电探测器具有更好的透光能力，其中，而第一石墨烯层既可以作为透明电极，又可以提高氧化镓薄膜的晶体质量，而且该探测器结构简单，透明度好，性能优越，稳定性好。CN115602741ACN115602741A权利要求书1/1页1.一种全透明柔性氧化镓日盲光电探测器，其特征在于，包括：柔性氟晶云母衬底(110)；第一石墨烯层(120)，设于所述柔性氟晶云母衬底(110)的表面；氧化镓薄膜(130)，设于所述第一石墨烯层(120)的表面；第二石墨烯层(140)，设于所述氧化镓薄膜(130)的表面；其中，所述第一石墨烯层(120)和所述第二石墨烯层(140)分别作为两个电极。2.根据权利要求1所述的全透明柔性氧化镓日盲光电探测器，其特征在于，所述柔性氟晶云母衬底(110)的厚度为20μm～100μm。3.根据权利要求1所述的全透明柔性氧化镓日盲光电探测器，其特征在于，所述氧化镓薄膜(130)的厚度为100nm～500nm。4.一种全透明柔性氧化镓日盲光电探测器，其特征在于，包括：柔性氟晶云母衬底(110)；氧化镓薄膜(130)，设于所述柔性氟晶云母的表面；第二石墨烯层(140)，设于所述氧化镓薄膜(130)的表面；其中，所述第二石墨烯层(140)包括两个且相互不接触，分别作为两个电极。5.根据权利要求4所述的全透明柔性氧化镓日盲光电探测器，其特征在于，还包括：第一石墨烯层(120)，设于所述柔性氟晶云母衬底(110)与所述氧化镓薄膜(130)之间。6.根据权利要求4所述的全透明柔性氧化镓日盲光电探测器，其特征在于，所述柔性氟晶云母衬底(110)的厚度为20μm～100μm。7.一种如权利要求1至权利要求3任意一项或者如权利要求4至权利要求6中任意一项所述的全透明柔性氧化镓日盲光电探测器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S10：制备柔性氟晶云母衬底(110)；S20：当探测器如权利要求1至权利要求3中任意一项所述探测器或者如权利要求5所述的探测器时，在柔性氟晶云母衬底(110)上转移第一石墨烯层(120)；S30：在真空环境中，使用高温沉积方法将氧化镓薄膜(130)沉积至第一石墨烯层(120)上或者柔性氟晶云母衬底(110)上；S40：在氧化镓薄膜(130)上转移第二石墨烯层(140)。8.根据权利要求7所述的全透明柔性氧化镓日盲光电探测器的制备方法，其特征在于，在所述步骤S30中，所述氧化镓薄膜(130)采用磁控溅射、脉冲激光和化学气相沉积三者中的一者沉积在所述第一石墨烯层(120)或者柔性氟晶云母衬底(110)上。9.根据权利要求7所述的全透明柔性氧化镓日盲光电探测器的制备方法，其特征在于，在所述步骤S30中，所述真空环境的真空度高于10‑3Pa，在氩气环境下进行氧化镓膜的沉积。10.根据权利要求7所述的全透明柔性氧化镓日盲光电探测器的制备方法，其特征在于，在所述步骤S30中，所述氧化镓薄膜(130)在500℃～800℃的高温下沉积到第一石墨烯层(120)或者柔性氟晶云母衬底(110)上。2CN115602741A说明书1/5页一种全透明柔性氧化镓日盲光电探测器及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及深紫外光电探测及柔性器件技术领域，尤其涉及一种全透明柔性氧化镓日盲光电探测器及其制备方法。背景技术[0002]氧化镓作为一种很有前景的超宽禁带半导体材料，由于其带隙正好落在日盲区，是天然的日盲光电探测器制备材料，被广泛用于制备日盲光电探测器。[0003]柔性电子技术能进一步拓展氧