一种高纯石墨铸靶模具.pdf
秀美****甜v
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
一种高纯石墨铸靶模具.pdf
本发明涉及探伤机零部件加工领域,具体是一种高纯石墨铸靶模具,具有高纯石墨制作的模体,该模体的形状为圆环形柱体,沿环状顶面的一周开有若干个成型盲孔,且盲孔底部中心处均开有一排气通孔,供加热过程中的气体排出;本发明可提高阳极靶发热效率和成型质量,可广泛应用于探伤机零部件加工领域。
一种高效电极石墨高频真空铸靶炉.pdf
本发明涉及探伤机零部件加工领域,具体是一种高效电极石墨高频真空铸靶炉,具有一钟罩和底板,钟罩底部为敞口,钟罩置于底板上方,底板与钟罩底面贴合部位具有密封垫,底板上方位于钟罩内有一耐高温底座,耐高温底座上方有一圆环形柱体石墨铸靶模具,该模具沿环状顶面的一周开有若干个成型盲孔,每个成型盲孔内放置有一个被加工的阳极靶,成型盲孔底部均开有一排气通孔,模具内圆中心部位安装有热电偶,模具外围盘绕有一高频感应线圈,钟罩外罩焊接在一旋转升降支架上,底板上开有一通孔,与抽真空系统连接;本发明的热源利用率高,自身维修率极低,
一种高纯石墨化炉.pdf
本发明涉及高纯石墨生产技术领域,特别涉及一种石墨化炉。一种高纯石墨化炉,包括:布料器、炉体以及卸料器。炉体内设有阴阳电极;阳极为实心柱状电极,阴极为空心电极;阴极以阳极为圆心环状布置在阳极周围,之间的区域为石墨加热区;本发明采用阴阳电极送电产生电弧,直接加热置于阴阳电极之间的石墨,电功率利用率可达到90%以上,易满足石墨提纯过程所需要的高温,石墨提纯质量等级高,合格品率几乎100%,无混料现象。炉体设有炉膛气体收集管、挥发组分收集管,保证了石墨加热区内气体和灰分快速及时有效地逸出和收集。本发明质量稳定、能
一种高纯铜靶材的制备方法及靶材的用途.pdf
本发明公开了一种高纯铜靶材的制备方法及靶材的用途,所制备的铜靶材平均晶粒尺寸≤1μm,且分布均匀。制备步骤包括:将纯度≥4N的铜原料依次进行1)连续铸造;2)坯料切割;3)等通道侧向挤压;4)轧制;5)热处理,制得高纯铜靶材。该方法制备的高纯铜靶材具有晶粒尺寸均匀细小、取向较为一致、靶材尺寸较大且较厚等特点,可应用于大规模集成电路互连线的溅射镀膜。
一种高纯铜靶材的制备方法.pdf
本发明公开了属于溅射靶材技术领域的一种高纯铜溅射靶材的制备方法。该方法主要包括:高纯铜靶材坯料在高温下进行镦粗拔长的塑性变形。经过多轮次的镦粗拔长变形后,将靶材坯料冷却。对冷却后的高纯铜靶材坯料进行压延变形制备成高纯铜靶坯。然后对靶坯进行热处理,得到组织细小均匀的高纯铜靶材。本发明的优点在于:采用塑性变形与热处理相结合的方法制备高纯铜靶材,该方法制备的靶材晶粒细小,分布均匀,完全满足溅射的需求。同时通过采用可控性的塑性加工设备使得加工工艺的一致性、重复性得到保证。该方法工艺简单,设备操作灵活,生产效率高,