一种紫外探测器及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107706253A(43)申请公布日2018.02.16(21)申请号201711025979.8(22)申请日2017.10.27(71)申请人朱秋华地址214000江苏省无锡市锡山区东北塘镇蓉阳村寺庄172号(72)发明人朱秋华(74)专利代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司11659代理人徐鹏飞(51)Int.Cl.H01L31/032(2006.01)H01L31/0224(2006.01)H01L31/09(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种紫外探测器及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种日盲型紫外探测器及其制备方法，由石英衬底、氧化镓外延层和Au电极组成；所述石英衬底的厚度为3mm-7mm，所述氧化镓外延层生长于所述石英衬底上，厚度为250-350nm，所述Au电极的形状为圆形，厚度为40-60nm，直径为80-100nm。本发明实施例提出一种基于氧化镓薄膜的紫外探测器，采用化学气相沉积法在石英衬底上制备氧化镓外延层，采用磁控溅射法在氧化镓外延层上制备电极，解决了现有技术中氧化锌、氮化镓以及碳化硅等材料不能应用于制备紫外探测器的技术问题。CN107706253ACN107706253A权利要求书1/1页1.一种日盲型紫外探测器，其特征在于，包括石英衬底、氧化镓外延层和Au电极；所述石英衬底的的厚度为3mm-7mm，所述氧化镓外延层生长于所述石英衬底上，厚度为250-350nm，所述Au电极的形状为圆形，厚度为40-60nm，直径为80-100nm。2.根据权利要求1所述的日盲型紫外探测器，其特征在于，所述氧化镓薄膜外延层的制备在化学气相沉积设备中进行，所述Au电极采用磁控溅射法生长于氧化镓外延层上。3.根据权利要求1所述的日盲型紫外探测器的制备方法，其特征在于，包括在所述石英衬底上制备所述氧化镓外延层和在所述氧化镓外延层上制备所述Au电极。4.根据权利要求3所述的日盲型紫外探测器的制备方法，其特征在于，所述氧化镓外延层的制备包括如下步骤：清洗石英衬底，并使用氮气吹干；将所述石英衬底置于石英舟上，将所述石英舟置于所述化学气相沉积设备的反应室内合适位置处，关闭所述反应室阀门；将氧化镓粉末置于所述石英舟与所述化学气相沉积设备的反应室进气端口之间，并距离石英舟8-12cm处；打开气路，使惰性气体和氧气的混合气体持续通入所述反应室；设置所述化学气相沉积设备的反应室内加热温度和加热时长，完成所述氧化镓薄膜的制备。5.根据权利要求3所述的日盲型紫外探测器的制备方法，其特征在于，所述制备氧化镓外延层的方法包括清洗所述石英衬底，将所述石英衬底置于甲苯溶液中，并用超声波清洗15分钟，用去离子水将所述石英衬底冲洗干净，再将所述石英衬底置于酒精溶液中，并用超声波清洗15分钟，再用所述去离子水将所述石英衬底冲洗干净。6.根据权利要求3所述的日盲型紫外探测器的制备方法，其特征在于，在氧化镓外延层的制备过程中，所述化学气相沉积设备的反应室保持常压；所述氧化镓粉末的纯度为99％。7.根据权利要求3所述的日盲型紫外探测器的制备方法，其特征在于，所述惰性气体可以是氦气、氩气、氖气，或其混合气体；所述惰性气体和氧气的纯度均不低于99％；所述惰性气体和所述氧气在进入所述化学气相沉积设备反应室前就已经完成混合。8.根据权利要求3所述的日盲型紫外探测器的制备方法，其特征在于，所述石英衬底的工作温度为500-1000℃，所述加热时长为0.5-2.0小时。9.根据权利要求3所述的日盲型紫外探测器的制备方法，其特征在于，所述Au电极的制备包括，在所述石英衬底上制备完成所述氧化镓外延层以后，将掩膜版置于所述氧化镓外延层上，将带有所述氧化镓外延层和所述掩膜版的所述石英衬底置于磁控溅射设备中。10.根据权利要求9所述的日盲型紫外探测器的制备方法，以纯度为99.99％的Au做靶源，溅射过程在惰性气体环境中，溅射30-50分钟。2CN107706253A说明书1/4页一种紫外探测器及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及紫外探测器制备领域，尤其涉及一种日盲型紫外探测器及其制备方法。背景技术[0002]自太阳的紫外辐射在通过大气层时，由于大气层中的臭氧层对200～280nm紫外辐射具有强烈的吸收作用，这一波段紫外辐射在近地大气中几乎不存在，因而，该波段的紫外辐射又被称为日盲紫外。由于没有来自太阳的背景辐射干扰，日盲型紫外探测显示出背景噪声小、可全天候工作等诸多优点，可广泛应用于导弹预警、火焰探测、电晕探测以及医疗等领域，具有极高的军事和民用价值，因此人们对紫外波段的探测需要越来越多。[0003]目前，常见的氧化锌、氮化镓以