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一种日盲紫外探测器及其制备方法.pdf
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日盲紫外探测器及其制备方法、以及日盲紫外探测方法.pdf
本申请提供一种日盲紫外探测器及其制备方法、以及日盲紫外探测方法，属于日盲紫外探测技术领域。探测器包括：高阻非晶氧化镓层，氧空位浓度和致密度可在1～2sccm的氧流量条件下磁控溅射沉积，厚度15～30nm，有相对的第一和第二表面；低阻非晶氧化镓层，氧空位浓度和致密度可在不高于0.2sccm的氧流量条件下磁控溅射沉积，连接于第一表面；收集电极，有分别与第二表面连接的第一和第二电极。探测方法采用探测器，包括：在20～100V的工作电压下进行探测；或每次探测后转换电压正负性。探测器作为两端结构可兼具高的响应度和低
2023-06-27
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一种日盲紫外探测器及其制备方法.pdf
本发明公开了日盲紫外探测器及其制备方法。探测元件由上至下包括由金属和氧化物的多周期滤波结构(或称滤波层)，紫外吸收体、叉指电极层、衬底层；多周期滤波结构顶部，底部均为电解质隔离层；由金属薄膜和电介质薄膜交替的多周期滤波结构生长在探测器的电介质隔离层上。多周期滤波结构尤其是交替生长氧化铝和铝。探测器结构采用背电极MSM结构，金属叉指电极制备在紫外吸收体与衬底之间，光信号从器件正面经过滤波结构射入紫外吸收体中，以避免叉指电极的阻挡，有效提高吸收效率。可实现日盲紫外波段的高效探测，同时对可见光、红外波段具有高抑
2023-06-27
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一种日盲紫外探测器及其制备方法.pdf
本发明公开了一种日盲紫外探测器及其制备方法，日盲紫外探测器包括衬底、设置在衬底表面的欧姆电极层、设置在欧姆电极层表面的ZnMgO层、设置在ZnMgO层表面的肖特基电极，肖特基电极呈梳状结构，梳状结构包括梳柄和与梳柄相连的梳齿。本申请公开的上述技术方案，将肖特基电极设置为梳状结构，该梳状结构包括梳柄和与梳柄相连的梳齿，当光照射到呈梳状结构的肖特基电极上时，一部分光线可以直接通过梳齿之间的间隙到达作为光敏层的ZnMgO层上，因此，则可以减少肖特基电极对光的吸收，提高肖特基电极对光的透过性，从而可以提高日盲紫外
2023-06-27
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一种日盲紫外探测器及其制备方法.pdf
本发明公开了一种日盲紫外探测器及其制备方法，日盲紫外探测器包括衬底、设置在衬底表面的VO2层、设置在VO2层表面的Ga2O3层、设置在Ga2O3层表面的电极，电极呈梳状结构。本申请公开的上述技术方案，将异质结设置为VO2层，当VO2层温度升高时，可以直接诱导VO2层的绝缘态‑金属态可逆相变，因此，相对于只能通过电极两端的电压调控探测器的性能，利用VO2绝缘‑金属可逆相变特性，增加调控探测器的光电特性的手段，提高探测器的抗干扰性能，从而可以提高日盲紫外探测器性能的稳定性，进而提高该器件的探测性能。
2023-06-27
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一种日盲紫外探测器及其制备方法.pdf
本发明提供了一种日盲紫外探测器，包括衬底、设置于衬底表面的MgZnO薄膜、均布在所述MgZnO薄膜表面的金属纳米阵列，以及设置在所述MgZnO薄膜表面的叉指电极；所述金属纳米阵列中所有金属纳米粒子的粒径相同、相邻两个金属纳米粒子的间距相同。本发明还提供了一种日盲紫外探测器的制备方法，通过等离子体增强分子束外延法在衬底表面上沉积MgZnO薄膜，并采用聚苯乙烯微球刻印技术在MgZnO薄膜表面形成金属纳米阵列。本发明的日盲紫外探测器在紫外乃至深紫外波段对光的吸收强，在其他波段对光的吸收弱，能选择特定波长增强吸收
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