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一种背入射日盲紫外探测器及其制备方法.pdf
2023-06-27
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永梅****33
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本发明公布了一种背入射日盲紫外探测器及其制备方法，采用背入射结构，本发明的装置包括：衬底、缓冲层、应力释放层、n型欧姆接触层、n型过渡层、i型光吸收层、p型掺杂层、p型过渡层、p型欧姆接触层、保护层、n型电极、p型电极，本发明的目的是解决AlGaN基p‑i‑n结紫外探测器p型掺杂效率低、薄膜裂纹、外延结构有待优化、晶体质量不高等问题，本发明通过设置缓冲层、应力释放层、过渡层和优化制备方法来实现本发明目的，提高器件性能，提供一种暗电流低、量子效率更高、抑制比更好、探测率更高、性能更好的背入射日盲紫外探测器及
2023-06-27
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面阵列背入射式日盲紫外探测器及其制备方法.pdf
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本发明适用于紫外光探测器制备技术领域，提供了一种背入射式日盲紫外探测器及其制作方法，该方法包括：在蓝宝石衬底上制备日盲紫外探测器的器件层；采用激光剥离技术将所述日盲紫外探测器的器件层与所述蓝宝石衬底分离；将分离的所述日盲紫外探测器的器件层键合到透紫外光的基板上。工作时基板背面作为紫外光子入射面，极大地增加了有效入射面积，同时正面电极可以做地尽可能地大，使得垂直方向的电场分布更加均匀，可以大幅度提高探测效率。另外激光剥离后的蓝宝石衬底可以重复利用，大大降低了日盲紫外探测器的研制成本。
2023-06-27
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本发明公开了日盲紫外探测器及其制备方法。探测元件由上至下包括由金属和氧化物的多周期滤波结构(或称滤波层)，紫外吸收体、叉指电极层、衬底层；多周期滤波结构顶部，底部均为电解质隔离层；由金属薄膜和电介质薄膜交替的多周期滤波结构生长在探测器的电介质隔离层上。多周期滤波结构尤其是交替生长氧化铝和铝。探测器结构采用背电极MSM结构，金属叉指电极制备在紫外吸收体与衬底之间，光信号从器件正面经过滤波结构射入紫外吸收体中，以避免叉指电极的阻挡，有效提高吸收效率。可实现日盲紫外波段的高效探测，同时对可见光、红外波段具有高抑
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