可见盲紫外光探测器及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109473488A(43)申请公布日2019.03.15(21)申请号201710798855.7(22)申请日2017.09.07(71)申请人中国科学院物理研究所地址100190北京市海淀区中关村南三街8号(72)发明人吕惠宾姜丽桐葛琛金奎娟杨国桢(74)专利代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司11280代理人王勇王博(51)Int.Cl.H01L31/0224(2006.01)H01L31/108(2006.01)H01L31/18(2006.01)G01J1/42(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称可见盲紫外光探测器及其制备方法(57)摘要本发明提供了一种可见盲紫外光探测器及其制备方法，包括：吸收体，所述吸收体材料的禁带宽度为3eV～8eV；设置在所述吸收体的表面上的第一电极和第二电极；以及设置在所述第一电极和第二电极之间的第三电极，所述第三电极靠近所述第一电极。本发明的可见盲紫外光探测器极大地提高探测器的灵敏度。CN109473488ACN109473488A权利要求书1/1页1.一种可见盲紫外光探测器，其特征在于，包括：吸收体，所述吸收体的禁带宽度为3eV～8eV；设置在所述吸收体的表面上的第一电极和第二电极；设置在所述第一电极和第二电极之间的第三电极，所述第三电极靠近所述第一电极。2.根据权利要求1所述的可见盲紫外光探测器，其特征在于，所述三电极可见盲紫外光探测器还包括电源，其正极和负极分别电连接至所述第一电极和第二电极。3.根据权利要求2所述的可见盲紫外光探测器，其特征在于，所述三电极可见盲紫外光探测器还包括连接至所述第三电极和所述电源的负极的两根输出引线。4.根据权利要求2所述的可见盲紫外光探测器，其特征在于，所述三电极可见盲紫外光探测器还包括连接在所述电源的负极和所述第二电极之间的保护电阻。5.根据权利要求1至4中任一项所述的可见盲紫外光探测器，其特征在于，所述吸收体的材料为钛酸锶、钛酸钡、铌酸锂、铌酸镧、白宝石、钽酸锂、钛酸镧、氧化锆、氧化锌和氧化镁之一。6.根据权利要求5所述的可见盲紫外光探测器，其特征在于，所述吸收体呈片状。7.根据权利要求1至4中任一项所述的可见盲紫外光探测器，其特征在于，所述第一、第二和第三电极是条状、环形或圆形，所述第三电极和所述第一电极的间距为2微米～1000微米。8.根据权利要求1至4中任一项所述的可见盲紫外光探测器，其特征在于，所述第一电极、第二电极和第三电极的材料为金、铂、铜、铝、石墨、铟锡氧化物、钌酸锶或金属合金。9.一种用于如上权利要求1所述的可见盲紫外光探测器的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：步骤1)，制备禁带宽度为3eV～8eV的吸收体；步骤2)，在所述吸收体的表面生长导电材料以形成第一电极、第二电极和第三电极，其中所述第三电极位于所述第一电极和第二电极之间，且靠近所述第一电极。10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，在所述步骤2)之后还包括：步骤3)，将电源的正极和负极分别连接至所述第一电极和所述第二电极；步骤4)，从所述第三电极和所述电源的负极分别引出输出引线。2CN109473488A说明书1/4页可见盲紫外光探测器及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及光探测器领域，具体涉及一种可见盲紫外光探测器及其制备方法。背景技术[0002]可见盲紫外光探测器不受可见光和红外光的干扰，能在可见光和红外光的环境条件下对紫外光信号进行探测,具有其独特的优点，在科研、空间探测和军事等领域具有非常广泛和重要的应用。[0003]为了消除吸收体和电极之间肖特基的影响以进一步提高灵敏度，现有技术提供了一种可见盲紫外光探测器，如图1所示，宽禁带材料吸收体11(厚度为0.5毫米、宽度为5毫米、长度为10毫米的钛酸锶单晶体)的两端分别设置电极12、13，以及设置在电极12、13之间的电极14、15，其中电极14靠近电极12，电极15靠近电极13。电极12依次通过阻值为2MΩ的电阻16和电压为9伏特的电源17连接至电极13。[0004]图2示出了图1所示的可见盲紫外光探测器的等效电路图，如图2所示，电极13和吸收体11之间形成了肖特基二极管113，电极12和吸收体11之间形成了肖特基二极管112。在图2所示的电路中，肖特基二极管112处于反向工作状态。只有光子能量大于吸收体11的禁带宽度的紫外光(例如波长为308nm、能量为20mJ的脉冲激光)入射到吸收体11的表面才能产生光电效应，从而在吸收体11中产生电子-空穴对，使得吸收体11具有导电特性。利用示波器测量电阻16两端的电压峰值为0.4伏特，然而，测量从电极14、15上引出的输出引线18、19之间的电压峰值为0