单侧及双侧式检测系统及成对反射镜组装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111351797A(43)申请公布日2020.06.30(21)申请号201911229714.9(22)申请日2019.12.04(30)优先权数据1071465672018.12.21TW(71)申请人由田新技股份有限公司地址中国台湾新北市中和区连城路268号10楼之1(72)发明人张勋豪黄冠勋邹嘉骏(74)专利代理机构北京维澳专利代理有限公司11252代理人王立民曾晨(51)Int.Cl.G01N21/95(2006.01)G02B7/182(2006.01)权利要求书3页说明书9页附图17页(54)发明名称单侧及双侧式检测系统及成对反射镜组装置(57)摘要本发明公开了一种单侧及双侧式检测系统及成对反射镜组装置，检测系统主要包括一待测物载台、一影像捕获设备以及一或多个反射镜。影像捕获设备设置在待测物载台一侧，用以撷取待测物影像。反射镜设置在影像捕获设备及待测物载台之间，通过反射镜将待测物的孔洞侧壁显示在反射镜上，以对孔洞侧壁进行检测。本发明可以有效的提升光学检测系统检测盲孔、穿孔或是其他复杂表面的瑕疵的效率，相较于现有技术可以大幅地降低检测所需的时间成本。并且，本发明机构设置简单，相较于现有技术可以降低检测的复杂度，同时降低设备的维修成本。CN111351797ACN111351797A权利要求书1/3页1.一种单侧式检测系统，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，其特征在于，所述单侧式检测系统包括：一待测物载台，用以承载所述待测物；一影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取待测物影像，其中所述影像捕获设备与所述孔洞侧壁之间具有一取像倾角，以撷取所述孔洞侧壁的影像。2.一种双侧式检测系统，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，其特征在于，所述双侧式检测系统包括：一待测物载台，用以承载所述待测物；一第一影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取待测物影像，其中所述第一影像捕获设备与所述孔洞侧壁之间具有一第一取像倾角，以撷取所述孔洞侧壁的第一侧影像；以及一第二影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取所述待测物影像，其中所述第二影像捕获设备与所述孔洞侧壁之间具有一第二取像倾角，使所述第二影像捕获设备撷取所述孔洞侧壁的一第二侧影像。3.根据权利要求1或2所述的单侧式检测系统，其中所述取像倾角的范围介于15度至75度之间。4.一种单侧式检测系统，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，其特征在于，所述单侧式检测系统包括：一待测物载台，用以承载所述待测物；一影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取待测物影像；以及一反射镜装置，设置在所述影像捕获设备及所述待测物载台之间，所述反射镜装置与所述孔洞侧壁之间具有一取像倾角，使所述影像捕获设备通过所述反射镜装置撷取所述孔洞侧壁的影像。5.根据权利要求4所述的单侧式检测系统，其特征在于：所述影像捕获设备包括线扫描摄影机或面扫描摄影机；所述待测物包括铜箔基板、印刷电路板、软式印刷电路板或冲压板件；以及所述孔洞侧壁包括穿孔侧壁或盲孔侧壁。6.根据权利要求4所述的单侧式检测系统，其特征在于，还包括一第一移载装置、一第二移载装置、一第一光源以及一第二光源，所述第一移载装置用以移载所述影像捕获设备及所述反射镜装置，所述第二移载装置用以移载所述待测物载台，所述第一光源设置在所述孔洞侧壁上方，以提供所述孔洞侧壁照明光源，所述第一光源的类型包括同轴光源、侧向光源或环形光源，所述第二光源设置在所述孔洞侧壁下方，以提供所述孔洞侧壁照明光源，所述第二光源包括一面光源，其中所述面光源的面积与所述待测物成正比。7.根据权利要求4所述的单侧式检测系统，其特征在于：所述反射镜装置具有一调整机构，用于调整所述反射镜装置的所述取像倾角的范围；以及所述反射镜装置包括一平面镜或一菱镜，用于由所述影像捕获设备通过所述反射镜装置撷取所述孔洞侧壁的影像。8.根据权利要求4所述的单侧式检测系统，其特征在于，所述取像倾角的范围介于10度2CN111351797A权利要求书2/3页至20度之间。9.一种双侧式检测系统，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，其特征在于，所述双侧式检测系统包括：一待测物载台，用以承载所述待测物；一第一影像捕获设备与一第二影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取待测物影像；一第一反射镜装置，设置在所述第一影像捕获设备及所述待测物载台之间，其中所述第一反射镜装置与所述孔洞侧壁之间具有一第一取像倾角，使所述第一影像捕获设备通过所述第一反射镜装置撷取所述孔洞侧壁的第一侧影像；以及一第二反射镜装置，设置在所述第二影像捕获设备及所述待测物载台之间，所述第二反射镜与所述孔洞侧壁之间具有一第二取像倾角，使所述第二影像捕获设