一种硅基环形多波段探测器及其制作方法.pdf
梅雪****67
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一种硅基环形多波段探测器及其制作方法.pdf
本发明提出一种硅基环形多波段探测器及其制作方法,所述硅基环形多波段探测器自下而上依次为下电极8,P‑硅衬底1,禁带宽度为Eg1的N+硅层2,N+氮化物层3,i‑氮化物层4,禁带宽度为Eg2的P+氮化物层5,上电极6,其中Eg2>Eg1;其中所述上电极6位于所述P+氮化物层5端部,中电极7位于所述N+硅层2上靠近端部位置且覆盖部分所述N+氮化物层3端部;所述中电极7和上电极6为环状结构。利用p‑i‑n结二极管实现对日盲紫外波段的探测,利用p‑硅衬底和N+硅衬底形成pn结,实现可见光波段的探测,从而实现
波导型硅基短波红外波段雪崩光电探测器及其制作方法.pdf
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1064nm硅基雪崩探测器及其制作方法.pdf
一种1064nm硅基雪崩探测器,所述1064nm硅基雪崩探测器包括衬底层、光敏区、雪崩区、保护环和截止环,其创新在于:保护环的数量为两个,第一保护环设置在光敏区外围,光敏区的外周边沿位于第一保护环的径向中部,雪崩区与第一保护环之间留有间隔,第二保护环设置在第一保护环的外围,第二保护环和第一保护环之间留有间隔,截止环设置在第二保护环的外围,截止环和第二保护环之间留有间隔。本发明的有益技术效果是:提出了一种1064nm硅基雪崩探测器及其制作方法,该探测器具备较好的抗边缘击穿能力,能在高温环境下长期稳定工作。
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本发明涉及一种宽波段硅基探测器光谱响应的通用测试系统,光源与单色仪相连,单色仪进光口放置一套滤波片轮,单色仪出射狭缝后安装一组准直缩束石英透镜,在石英透镜后安装有一套能量衰减转轮,标准探测器和CCD驱动板固定在三维步进电机平台置于暗室中,标准探测器和CCD驱动板分别接收来自单色仪的光信号,再通过图像采集卡和皮安表将信号送入工控机里处理;步进电机平台使标准探测器与CCD驱动板可横向同轴切换,工控机输出控制步进驱动器、单色仪、衰减转轮。在单色仪和探测器之间采用能量衰减转轮实现对不同波段入射光的能量进行控制,有
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