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波导型硅基短波红外波段雪崩光电探测器及其制作方法.pdf

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本发明提供一种波导型硅基短波红外波段雪崩光电探测器及其制作方法,光电探测器包括:衬底、硅波导、第一导电类型接触层、第二导电类型掺杂电荷层、倍增层、吸收层及第二导电类型接触层;吸收区位于第二导电类型掺杂电荷层上,吸收区为Ge1?xPbx材料,其中,0.001<x<0.01,以在短红外波段到中红外波段实现高效吸收,硅波导中的光通过消逝波耦合进入吸收区以形成光电流,光电流在倍增层通过雪崩倍增效应放大,实现高灵敏度探测。