一种激光功率调节装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112589262A(43)申请公布日2021.04.02(21)申请号202011465549.X(22)申请日2020.12.13(71)申请人珠海市镭通激光科技有限公司地址519000广东省珠海市香洲区高新区唐家湾金唐路1号港湾1科创园24栋C区1层189室(72)发明人李军沈华明蔡健杰陈冬冬(74)专利代理机构中山佳思智诚专利代理事务所(普通合伙)44591代理人谢自知王前明(51)Int.Cl.B23K26/067(2006.01)B23K26/386(2014.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种激光功率调节装置(57)摘要本发明公开了一种激光功率调节装置，其技术方案的要点是包括有与激光器相连的声光调制器，在声光调制器的输出端设有用于分光的第二分束镜，第二分束镜电性连接有用于测量从第二分束镜反射过来的激光能量的第二光电二级管，第二光电管二极管电性连接有用于采集第二光电二极管数值并反馈给声光调制器的第二数据采集和处理系统。本发明用声光调制器作为激光器的快速调节开关，在包括零至额定功率范围以内可以非常快速的调节激光功率，使得激光在加工柔性电路板上的盲孔时，激光器可以一直保持开启状态，一直开启状态下的激光器，其内部的温度、湿度等都相对稳定，输出的激光功率也就很稳定，避免了激光器开关瞬间功率波动较大的问题。CN112589262ACN112589262A权利要求书1/1页1.一种激光功率调节装置，其特征在于：包括有与激光器(7)相连的声光调制器(8)，在所述声光调制器(8)的输出端设有用于分光的第二分束镜(9)，所述第二分束镜(9)电性连接有用于测量从第二分束镜(9)反射过来的激光能量的第二光电二级管(10)，所述第二光电管二极管(10)电性连接有用于采集第二光电二极管(10)数值并反馈给声光调制器(2)的第二数据采集和处理系统(11)。2.根据权利要求1所述的激光功率调节装置，其特征在于：所述声光调制器(8)的频率为100M以上。3.根据权利要求1所述的激光功率调节装置，其特征在于：激光器(7)发射的激光为线偏振光。2CN112589262A说明书1/3页一种激光功率调节装置【技术领域】[0001]本发明涉及一种激光功率调节装置。【背景技术】[0002]在用激光对多层线路板打盲孔时，要求激光的功率稳定，不能有较大波动，否则打出的孔可能会不符合要求，因此都会在激光设备上添加一套激光功率调节装置，用来监测和调节激光的输出功率。[0003]现有的激光功率调节装置，其光路方框图如图1所示，其包括有空心旋转电机1，在空心旋转电机1上设有与其同轴的波片2，在光路方向还依次设有偏光器件3如分光平片、第一分束镜4，激光射到偏光器件3上后，有部分激光能从偏光器件3透射出去，部分会被遮蔽。射到偏光器件3上的激光角度不同，从偏光器件3透射出去的激光能量就不同，通过空心旋转电机1带动波片2旋转，改变波片2的角度，就能改变发射到偏光器件3上的激光角度，进而改变从偏光器件3透射出去的激光能量。[0004]从偏光器件3射出的激光射到第一分束镜4后，一般会有99％的激光能够从第一分束镜4透射出去用于加工，另有1％的激光会被反射，其中的反射比为设计值，因此在该反射光路上设置用于测量反射激光能量的第一光电二极管5以及第一数据采集和处理系统6，第一数据采集和处理系统6的作用是采集第一光电二极管5测量到的数据，如果第一数据采集和处理系统6发现采集到的反射激光脉冲能量波动较大，则会反馈给空心旋转电机1，空心旋转电机1带动波片2旋转至合适的角度，通过调节偏光器件3输出的激光能量以调节从第一分束镜4输出的激光能量，达到稳定激光输出功率的作用。[0005]使用较长时间后，激光器就会老化，输出的激光功率就会有较大波动，第一数据采集和处理系统6采集到了这种波动后就会反馈给空心旋转电机1进行调节，达到稳定输出功率的作用。[0006]上述调节方式能够解决激光器长期使用后功率波动的问题。但是激光器在加工柔性电路板盲孔时，因盲孔之间有间距，需要激光器时开时关，时开时关会造成激光器内部环境不稳定，输出的激光功率会有瞬时的波动，上述调节方式无法快速响应，即无法解决激光瞬时波动的问题。【发明内容】[0007]本发明目的是克服了现有技术无法解决激光功率瞬时波动的的不足，提供一种激光功率调节装置。[0008]本发明是通过以下技术方案实现的：[0009]一种激光功率调节装置，其特征在于：包括有与激光器7相连的声光调制器8，在所述声光调制器8的输出端设有用于分光的第二分束镜9，所述第二分束镜9电性连接有用于测量从第二分束镜9反射过来的激光能量的第二光电二级管10，所述第二光电管二极管10电性连接