衬底、外延片及衬底的制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115799412A(43)申请公布日2023.03.14(21)申请号202211221682.X(22)申请日2022.10.08(71)申请人华灿光电（浙江）有限公司地址322000浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路233号(72)发明人朱知音冯岩王政卫蒯亮张圣君王江波梅劲(74)专利代理机构北京三高永信知识产权代理有限责任公司11138专利代理师吕耀萍(51)Int.Cl.H01L33/02(2010.01)H01L33/64(2010.01)权利要求书1页说明书7页附图3页(54)发明名称衬底、外延片及衬底的制备方法(57)摘要本公开提供了一种衬底、外延片及衬底的制备方法，属于光电子制造技术领域。该衬底包括：衬底本体和导热件，衬底本体的一面具有多个盲孔，导热件与盲孔一一对应，且导热件至少部分位于对应的盲孔内。本公开能够改善衬底的散热性能。CN115799412ACN115799412A权利要求书1/1页1.一种衬底，其特征在于，包括：衬底本体(10)，所述衬底本体(10)的一面具有多个盲孔(110)；导热件(20)，与所述盲孔(110)一一对应，且所述导热件(20)至少部分位于对应的所述盲孔(110)内。2.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述盲孔(110)的底面积大于所述盲孔(110)的开口面积。3.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述导热件(20)处于所述盲孔(110)的开口的部分，与所述衬底本体(10)的一面平齐。4.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述导热件(20)为SiC、金属材料中的任一种。5.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述衬底还包括凸起(30)；所述凸起(30)与所述导热件(20)一一对应，所述凸起(30)叠设在对应的所述导热件(20)上，使得所述凸起(30)凸出于所述衬底本体(10)的一面。6.根据权利要求5所述的衬底，其特征在于，所述凸起(30)为圆台形结构，所述凸起(30)的面积较大的一端与所述导热件(20)接触。7.根据权利要求5所述的衬底，其特征在于，所述凸起(30)为SiO2材料。8.一种外延片，其特征在于，包括：衬底(100)，以及依次叠设在所述衬底(100)上的U型GaN层(200)、N型GaN层(300)、量子肼层(400)和P型GaN层(500)，所述衬底(100)为权利要求1‑7任一项所述的衬底(100)。9.一种衬底的制备方法，其特征在于，包括：提供一衬底本体(10)；在所述衬底本体(10)的一面刻蚀形成多个盲孔(110)；在所述盲孔(110)内沉积形成导热件(20)。10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，还包括：在所述导热件(20)上光刻形成凸起(30)，所述凸起(30)为SiO2材料。2CN115799412A说明书1/7页衬底、外延片及衬底的制备方法技术领域[0001]本公开涉及光电子制造技术领域，特别涉及一种衬底、外延片及衬底的制备方法。背景技术[0002]发光二极管芯片(英文：LightEmittingDiode，简称：LED)属于一种半导体器件，其作为光电子产业中极具影响力的新产品，具有体积小、使用寿命长、颜色丰富多彩、能耗低等特点，广泛应用于照明、显示屏、信号灯、背光源、玩具等领域。[0003]在相关技术中，外延片为发光二极管芯片的重要组成部分之一，外延片主要包括衬底和外延层。蓝宝石为一种常见的衬底材料，其技术成熟，成本低，得到了广泛的应用。但是蓝宝石衬底具有一大弊端为散热性能较差，不仅影响发光二极管芯片的热可靠性，还在一定程度上限制了大功率发光二极管芯片注入电流的提高。为了解决这一问题，通常在制备衬底时使用替换法，也即将外延层键合到其他导热性能优异的衬底上，再将蓝宝石衬底剥离，相当于是采用键合和剥离技术用导热性优异的衬底来替换蓝宝石衬底。[0004]然而，在制备衬底时使用替换法，需要增加多步工序，导致制造成本大幅度提高。发明内容[0005]本公开实施例提供了一种衬底、外延片及衬底的制备方法，能够改善衬底的散热性能。所述技术方案如下：[0006]一方面，本公开实施例提供了一种衬底，所述衬底包括：[0007]衬底本体，所述衬底本体的一面具有多个盲孔；[0008]导热件，与所述盲孔一一对应，且所述导热件至少部分位于对应的所述盲孔内。[0009]在本公开的一种实现方式中，所述盲孔的底面积大于所述盲孔的开口面积。[0010]在本公开的一种实现方式中，所述导热件处于所述盲孔的开口的部分，与所述衬底本体的一面平齐。[0011]在本公开的一种实现方式中，所述导热件为SiC、金属材料中的任一种。[0012]在本公开的一种实现方式中，所述衬底还包括凸起；[0013]所述凸起与所述导热件