提高硅棒切片成品率的多晶切片方法.pdf
星菱****23
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提高硅棒切片成品率的多晶切片方法.pdf
提高硅棒切片成品率的多晶切片方法,涉及多晶硅棒的切割技术领域。先在与钢丝接触的多晶硅棒左、右两面分别粘贴一根宽度为2.8mm的树脂条,然后置于切片机上切片。由于在多晶硅棒切片过程中,于多晶硅棒的左右两面分别粘有两根2.8mm的树脂条,该树脂条在切割时对钢丝能起到很好的固定效果,大大降低了钢丝在进刀时的不稳定性,完全杜绝这些因素对切割造成的影响,有效的提高了硅棒的成品率。
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多晶硅的切片方法,涉及多晶硅生产技术领域,特别是多晶硅的切片工艺技术领域。本发明在多晶硅棒切片过程中,在多晶硅棒的前后两端分别留有1.5mm长度的厚片。即,在切片时,在多晶硅棒的前后两端分别留有1.5mm长度不进行切片,该厚片可起到夹具的作用,能保证已切的片材不会在收钢丝线弓时形成扇形,故有效降低崩边现象,故而提高硅棒的成品率。采用本方法切片无须在硅棒总长度被切割二分之一时对夹具进行调整,在摆放夹具时也无需考虑是否会出现捣坏硅片的现象发生,避免了很多不必要的操作,杜绝了这些操作有可能在切割过程中对硅棒造成
硅棒切片工艺.pdf
本发明公开了切割线使用量少的硅棒切片工艺,采用切片机对硅棒进行切片,具体为先将清洗好的硅棒、玻璃板和晶托依次粘在一起,然后将晶托固定在切片机上,硅棒两侧的喷嘴对切割线进行喷射砂浆,使得切割线上涂满砂浆,切割线的运动方式为前进A距离,后退B距离,再前进A距离,砂浆的重量百分比组分为聚醚链烷醇胺梳状聚合物5%,环氧乙烷和环氧丙烷反向共聚聚醚4.2%,脂肪族环氧乙烷和环氧丙烷衍生物低泡表面活性剂0.5%,丁二酸钠盐0.5%,多元醇及其加成物80%,水溶性低泡磷酸酯及其衍生物2.4%,其余为水。本发明的优点是:利
检测硅棒切片到位的方法及硅片切片机粘棒工装.pdf
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