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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN104549597A(43)申请公布日2015.04.29(21)申请号201510029336.5(22)申请日2015.01.21(71)申请人中国科学院上海技术物理研究所地址200083上海市虹口区玉田路500号(72)发明人李俊孙闻王小坤陈俊林曾智江郝振贻李雪(74)专利代理机构上海新天专利代理有限公司31213代理人郭英(51)Int.Cl.B01L7/00(2006.01)G01D11/00(2006.01)G05D23/24(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称一种用于集成式杜瓦组件变温测试的制冷结构(57)摘要本发明公开了一种用于集成式杜瓦组件变温测试的制冷结构,该结构包括环氧拉杆柄、环氧拉杆、液氮腔密封盖板、外壳、液氮存储腔、杜瓦一体支撑小端密封盖板、芯柱、定杆帽、液氮托盘、冷头、测温铂电阻、引线、引线环、杜瓦一体支撑密封底板、加热电阻、杜瓦一体支撑大端密封盖板。本发明的制冷结构和实现方法简单,通用性强,成本低廉;本发明设计了一种通过调节液氮面与冷平台不同距离量以实现测试温度达到85-130K的制冷结构,通过热量补偿实现对测试温度精确控制。CN104549597ACN104549597A权利要求书1/1页1.一种用于集成式杜瓦组件变温测试的制冷结构,它包括环氧拉杆柄(1)、环氧拉杆(2)、液氮腔密封盖板(3)、外壳(4)、液氮存储腔(5)、杜瓦一体支撑小端密封盖板(6)、芯柱(7)、定杆帽(8)、液氮托盘(9)、冷头(10)、测温铂电阻(11)、引线(12)、引线环(13)、杜瓦一体支撑密封底板(14)、加热电阻(15)、杜瓦一体支撑大端密封盖板(16)、待测试杜瓦(17),其特征在于:所述的环氧拉杆柄(1)与环氧拉杆(2)的上端通过低温胶胶接,液氮腔密封盖(3)与外壳(4)中间由液氮密封盖板橡胶圈(301)实现密封,外壳(4)分别与液氮存储腔(5)上端、杜瓦一体支撑小端密封盖板(6)通过激光焊接进行密封,液氮存储腔(5)与芯柱(7)通过激光焊接方式密封,定杆帽(8)的螺纹将环氧拉杆(2)下端与液氮托盘(9)固定,芯柱(7)与冷头(10)之间采用真空钎焊方式连接,在冷头(10)表面使用低温环氧胶分别胶接测温铂电阻(11)、加热电阻(15),测温铂电阻(11)和加热电阻(15)均通过引线(12)连接,引线环(13)与杜瓦一体支撑密封底板(14)通过激光焊接连接,杜瓦一体支撑大端密封盖板(16)与待测杜瓦(17)的一体支撑(1702)下部小端面之间由杜瓦一体支撑大端密封盖板橡胶圈(1601)实现密封,待测试杜瓦(17)内冷链(1701)下端面与冷头(10)固定使其紧密接触。2CN104549597A说明书1/6页一种用于集成式杜瓦组件变温测试的制冷结构技术领域[0001]本发明涉及集成式杜瓦组件封装技术,具体是指一种用于集成式超长线列红外焦平面杜瓦组件封装过程中对探测器进行变温测试的制冷结构,它适用于采用了直线型脉冲管制冷机与探测器集成耦合式杜瓦组件内探测器性能过程测试。背景技术[0002]随着对空间分辨率及探测器灵敏度等要求的提高,红外焦平面探测器常常采用线列或者阵列拼接探测器芯片模块的方式以提高分辨率。对于采用这类拼接方式的红外焦平面探测器对工作温度及温度均匀性要求较高,因此常常采用杜瓦组件与直线型脉冲管集成耦合方式以满足大冷量、深低温的制冷需求。[0003]在集成式杜瓦探测器封装过程中,一般是杜瓦、探测器与直线型脉冲管制冷机完成封装后,采用制冷机开机测试探测器性能,通过这种方式测试带来的缺点就是:1)无法确定探测器各模块在经过组装、封装等多道工艺后,其低温工作时的性能指标是否能与封装之前保持一致;2)如果测试过程中发现某个探测器模块有问题,还需要将已经完成密封焊接的的杜瓦与制冷机冷指两端的焊缝通过机加工方式铣开,这不仅会因在修配过程中产生的应力对制冷机冷指及其他零部件造成损坏,还会延长探测器封装周期;3)采用直线型脉冲管制冷机进行开机测试时,还会带来另外一些问题:比如制冷机压缩机工作过程中,会产生持续振动;制冷机压缩机线圈转动会造成电磁干扰,会增加探测器的噪声,可能影响测试结果的准确性。发明内容[0004]本发明的目的是提供一种集成式杜瓦组件内变温测试的制冷结构,解决了探测器与制冷机耦合封装过程中探测器性能无干扰的测试和缩短封装周期问题,满足探测器性能在封装过程中性能控制的要求。[0005]本发明的一种集成式杜瓦组件变温测试的制冷结构,如附图1所示,包括环氧拉杆柄1、环氧拉杆2、液氮腔密封盖板3、外壳4、液氮存储腔5、杜瓦一体支撑小端密封盖板6、芯柱7、定杆帽8、液氮托盘9、冷头10、测温铂电阻11、引