预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/7
2/7
3/7
4/7
5/7
6/7
7/7

在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110440931A(43)申请公布日2019.11.12(21)申请号201910654876.0(22)申请日2019.07.19(71)申请人武汉高芯科技有限公司地址430205湖北省武汉市东湖开发区黄龙山南路6号2号楼(72)发明人刘道进王立保沈星(74)专利代理机构北京汇泽知识产权代理有限公司11228代理人吴静(51)Int.Cl.G01J5/04(2006.01)G01J5/10(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种吸气剂外置的真空杜瓦组件及红外制冷探测器(57)摘要本发明属于红外制冷技术领域,具体提供了一种吸气剂外置的真空杜瓦组件及红外制冷探测器,包括杜瓦瓶体和封闭外置空腔,杜瓦瓶体包含外壳及密封冷指,所述外壳与所述密封冷指之间形成密封腔室,封闭外置空腔与外壳之间密封连接,且封闭外置空腔一端与密封腔室连通,在封闭外置空腔内设有真空吸气剂。将吸气剂外置,减少吸气剂激活时传到芯片上的热量,保证吸气剂能够充分连续激活,从而提升吸气剂的吸气性能;另一方面,将吸气剂外置同时减小了真空杜瓦组件内部腔室体积,真空杜瓦组件内壁放气源面积减小,进一步提高红外制冷探测器组件的真空可靠性。CN110440931ACN110440931A权利要求书1/1页1.一种吸气剂外置的真空杜瓦组件,包括杜瓦瓶体,所述杜瓦瓶体包含外壳(2)及密封冷指(4),所述外壳(2)包裹在所述密封冷指(4)外表面,且所述外壳(2)与所述密封冷指(4)之间形成密封腔室,其特征在于:还包括封闭外置空腔(3),所述封闭外置空腔(3)与所述外壳(2)之间密封连接,且所述封闭外置空腔(3)一端与所述密封腔室连通,所述封闭外置空腔(3)内远离所述密封冷指(4)的另一端设有用于对所述杜瓦瓶体抽真空的真空吸气剂(7)。2.根据权利要求1所述的吸气剂外置的真空杜瓦组件,其特征在于:所述外壳(2)的侧壁上开设有通孔,所述封闭外置空腔(3)与所述密封腔室之间通过所述通孔连通。3.根据权利要求1或2所述的吸气剂外置的真空杜瓦组件,其特征在于:所述封闭外置空腔(3)与所述外壳(2)之间通过法兰盘可拆卸连接。4.根据权利要求1或2所述的吸气剂外置的真空杜瓦组件,其特征在于:所述封闭外置空腔(3)与所述外壳(2)为一体成型构件。5.根据权利要求1所述的吸气剂外置的真空杜瓦组件,其特征在于:所述封闭外置空腔(3)上设有用于将所述真空吸气剂(7)电引出的导电组件,所述导电组件包括绝缘子(6)及金属件(1),所述真空吸气剂(7)的吸气剂电极(5)与绝缘子(6)电连接,所述金属件(1)与所述真空吸气剂(7)电连接。6.根据权利要求5所述的吸气剂外置的真空杜瓦组件,其特征在于:所述真空吸气剂(7)与所述金属件(1)之间烧结成整体。7.根据权利要求5或6所述的吸气剂外置的真空杜瓦组件,其特征在于:所述金属件(1)为“T”型构件,所述“T”型构件的短边与所述封闭外置空腔(3)密封焊接,所述“T”型构件的长边与所述真空吸气剂(7)烧结成整体。8.根据权利要求5所述的吸气剂外置的真空杜瓦组件,其特征在于:所述绝缘子(6)与所述封闭外置空腔(3)的外壁真空钎焊连接。9.一种红外制冷探测器,包括线路板,其特征在于:所述红外制冷探测器还包括如权利要求1至8任一项所述的真空杜瓦组件,所述线路板放置于所述真空杜瓦组件的冷盘(9)上。2CN110440931A说明书1/4页一种吸气剂外置的真空杜瓦组件及红外制冷探测器技术领域[0001]本发明属于红外制冷技术领域,具体涉及一种吸气剂外置的真空杜瓦组件及红外制冷探测器。背景技术[0002]现有红外制冷探测器组件包括芯片、杜瓦和制冷机三大部分,且芯片封装在杜瓦内形成探测器杜瓦组件,杜瓦组件与制冷机耦合形成红外制冷探测器组件。杜瓦组件为探测器提供真空、绝热、光学成像及电学引出。杜瓦组件内部安装电激活吸气剂,通过长时间高温排气和吸气剂持续吸附气体,确保红外制冷探测器组件的真空可靠性。但是对于一些大面阵探测器组件,由于芯片耐热温度比较低,而且杜瓦内腔体积比较大,红外制冷探测器组件真空可靠性比较差。[0003]通常红外制冷探测器组件的吸气剂是放置于杜瓦内部,吸气剂激活产生的热辐射通过密封冷指热传导和直接热辐射到达芯片表面上,造成芯片温度升高超过可承受的烘烤温度,导致吸气剂需要分段激活,而分段激活的吸气剂的效率差,激活不充分,降低了吸气性能,进一步影响了整个红外制冷探测器组件的真空可靠性。发明内容[0004]本发明的目的是克服现有技术中红外制冷探测器真空可靠性差的问题。[0005]为此,本发明提供了一种吸气剂外置的真空杜瓦组件,包括杜瓦瓶体,所述杜瓦瓶体包含外壳及密封冷指,