一种垂直连续旋转蚀刻机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112501614A(43)申请公布日2021.03.16(21)申请号201910869860.1(22)申请日2019.09.16(71)申请人黄华生地址528200广东省佛山市南海区狮山镇小塘兴业街兴华楼502房(72)发明人黄华生(51)Int.Cl.C23F1/08(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称一种垂直连续旋转蚀刻机(57)摘要本发明公开了一种垂直连续旋转蚀刻机，包括上下料段、显影段、第一水洗段、检视段、蚀刻段、第二水洗段、膨松段、退膜段、第三水洗段、微蚀抗氧化段、第四水洗段和烘干段，该垂直连续旋转蚀刻机通过垂直的方式，可以最大限度地杜绝水池效应，解决蚀刻料号双面蚀刻均匀性差异的问题；通过蚀刻盘持续旋转的方式可以利用重力的方式让蚀刻药水迅速排开加快药水交换，提高蚀刻精度；通过连续传输的方式不同的工作段不需要停机换料，直接流水线作业，大大提高了效率，节约了人力；其上下料段还可以配备机械手上下料，完全实现全自动生产；可以用一流体的喷淋方式或者二流体的喷淋方式，二流体喷淋的方式将更有利于提高蚀刻精度。CN112501614ACN112501614A权利要求书1/2页1.一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：包括上下料段（1）、显影段（2）、第一水洗段（3）、检视段（4）、蚀刻段（5）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、退膜段（8）、第三水洗段（9）、微蚀抗氧化段（10）、第四水洗段（11）、烘干段（12）、支撑架（13）、传动环形轨道（14）、环形传动电机（15）、第一伺服电机（16）、驱动皮带（17）、蚀刻转盘（18）和滑动电刷（19），所述上下料段（1）、显影段（2）、第一水洗段（3）、检视段（4）、蚀刻段（5）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、退膜段（8）、第三水洗段（9）、微蚀抗氧化段（10）、第四水洗段（11）和烘干段（12）形成整套蚀刻流程，并且其呈椭圆状环绕分布在支撑架（13）外侧，所述支撑架（13）顶部固定有传动环形轨道（14），所述传动环形轨道（14）左部内侧与环形传动电机（15）的输出轴传动配合，并且环形传动电机（15）底部通过螺栓与支撑架（13）相固定，所述第一伺服电机（16）底部与传动环形轨道（14）顶侧相连接，并且第一伺服电机（16）通过传动环形轨道（14）在支撑架（13）上呈椭圆状移动，所述第一伺服电机（16）的外侧输出轴通过支杆与驱动皮带（17）相连接，并且驱动皮带（17）底部外侧与蚀刻转盘（18）同轴转动，所述第一伺服电机（16）顶部设置有滑动电刷（19）。2.根据权利要求1所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述显影段（2）、蚀刻段（5）和退膜段（8）的结构相同，所述蚀刻段（5）包括第一罩体（51）、第一集液箱（52）、第一水泵（53）、第一喷管（54）和气缸（55），所述第一罩体（51）底部与第一集液箱（52）呈一体化结构，所述第一集液箱（52）顶部外侧通过螺栓紧固有第一水泵（53），所述第一水泵（53）底部进水端通过管道伸入第一集液箱（52）内部底侧，所述第一水泵（53）顶侧出水端通过蚀刻液管贯穿于第一罩体（51）内侧并且与第一喷管（54）相连接，所述第一喷管（54）固定于第一罩体（51）内侧，所述第一喷管（54）对底部进气口通过气管与气缸（55），并且气缸（55）设置与第一集液箱（52）外侧。3.根据权利要求1所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述第一水洗段（3）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、第三水洗段（9）、微蚀抗氧化段（10）和第四水洗段（11）的结构相同，所述水洗段（3）包括第二罩体（31）、第二集液箱（32）、第二水泵（33）和第二喷管（34），所述第二罩体（31）底部与第二集液箱（32）呈一体化结构，所述第二集液箱（32）顶部外侧通过螺栓紧固有第二水泵（33），所述第二水泵（33）底部进水端通过管道伸入第二集液箱（32）内部底侧，所述第二水泵（33）顶侧出水端通过蚀刻液管贯穿于第二罩体（31）内侧并且与第二喷管（34）相连接，所述第二喷管（34）固定于第二罩体（31）内侧。4.根据权利要求1所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述烘干段（12）包括第三罩体（121）、置放箱（122）、风机（123）和风刀（124），所述第三罩体（121）底部与置放箱（122）呈一体化结构，所述置放箱（122）顶部外侧通过螺栓紧固有风机（123），所述风机（123）内侧出风口通过风管贯穿于第三罩体（121）内侧并且与风刀（124）相连接，所述风刀（124）固定于第三罩体（121）内侧。5.根据权利要求2所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述第一喷管（54）共设