红外探测器芯片测试用连接装置.pdf
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红外探测器芯片测试用连接装置.pdf
本发明提出了一种红外探测器芯片测试用连接装置,连接装置固定于测试杜瓦冷台上,并通过测试杜瓦冷台与测试装置电连接,用于对待测芯片进行测试,连接装置包括:PCB框架和衬底层,PCB框架设有用于与待测芯片电连接的第一连接端和与测试杜瓦冷台电连接的第二连接端,PCB框架具有沿厚度方向贯通的放置腔;衬底层位于放置腔内,待测芯片固定于衬底层并与第一连接端电连接。由此,待测芯片通过PCB框架和外部电学接插件形成电学联通,以对待测芯片进行测试。而且,PCB框架固定至测试杜瓦冷台,在进行待测芯片更换时,仅需更换衬底层和待测
非制冷红外探测器、芯片以及芯片的制作方法.pdf
本发明涉及一种非制冷红外探测器芯片的制作方法,包括如下步骤:S1,在读出电路上进行MEMS阵列的制作;S2,待完成后,在读出电路非MEMS阵列的部位上沉积吸气剂材料;S3,通过剥离工艺,去掉非制冷红外像元部分的吸气剂,留下非制冷红外非像元部分的吸气剂。还提供一种非制冷红外探测器,包括半导体制冷器以及非制冷红外探测器芯片,芯片设于半导体制冷器上。还提供一种非制冷红外探测器芯片,包括读出电路以及设于读出电路上的MEMS阵列,读出电路上还沉积有吸气剂,吸气剂环绕MEMS阵列设置。本发明通过在芯片上沉积吸气剂材料
制冷红外探测器芯片及其制备方法.pdf
本发明涉及一种制冷红外探测器芯片,包括红外光敏层和读出电路,所述红外光敏层和所述读出电路通过互连结构电连接,还包括围设于所述互连结构外部的围墙,所述红外光敏层和所述读出电路之间填充有固定材料,所述固定材料位于所述围墙外部。还提供一种制冷红外探测器芯片的制备方法。本发明通过围墙实现了对原本需要进行填充的有效像元区域的封锁,保证填充胶无法进入到有效像元区域中,可以使有效像元区域都是无填充状态,那么在成像时,像元区域不会因填充材料不饱满导致对应区域响应不均匀。而外围的填充胶经过固化后既可以对整个红外芯片结构起到
焦平面红外探测器芯片、探测器和制备方法.pdf
本发明公开了一种焦平面红外探测器芯片,包括:接触层,接触层上设置有第一欧姆接触电极和像元阵列;陷光结构阵列,设置在接触层的下面;其中,像元阵列的每一个像元上设置有第二欧姆接触电极,每一个第二欧姆接触电极上设置有铟柱,铟柱与读出电路连接,像元阵列、接触层和第一欧姆接触电极的掺杂类型相同,接触层和第二欧姆接触电极形成PN结。本发明公开的焦平面红外探测器芯片提高样品的吸收率,吸收谱覆盖可见至短波红外波段,提高了探测器芯片的响应波段。本发明还公开了一种焦平面红外探测器芯片的制备方法和一种焦平面红外探测器。
一种红外探测器芯片的清洗方法.pdf
本发明公开了一种红外探测器芯片的清洗方法,属红外探测器器件制造工艺技术领域。本发明采用去蜡剂取代三氯乙烯清洗芯片表面残留的蜡,在常温条件下,得到的芯片不管正面还是背面残留物几乎没有,比常规工艺清洗更加干净。基于常规工艺中,芯片表面石蜡的去除是在三氯乙烯中长时间浸泡,然后用毛笔和棉球清洗。这种方法不但浪费时间,而且清洗过程中,背面的蜡容易残留,正面毛笔的力度也不易控制,太轻容易残留蜡,太重则会损伤铟柱,没有客观的标准。本发明特提出采用去蜡剂取代三氯乙烯清洗芯片表面的石蜡,这样既节省了时间,提高了效率,又使操