相对湿度传感器装置.pdf
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相关资料
相对湿度传感器装置.pdf
本发明涉及一种相对湿度传感器装置,包括微控制器和连接到电阻器的感测电容器。所述微控制器包括脉宽调制器,该脉宽调制器具有经由电阻器连接到感测电容器的输出、以及连接到感测电容器和计数器的中断输入。此外,该微控制器被配置为借助于脉宽调制器经由电阻器对感测电容器进行周期性地充电和放电,借助于计数器来确定中断事件的数目,并基于所确定的中断事件的数目来确定感测电容器的充电时间。
制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器.pdf
本发明涉及一种制造相对湿度传感器的方法,包括以下步骤:a)在基底(1)上或上方提供第一电极(3);b)在第一电极(3)上方提供非多孔无机介电层(5);c)在无机介电层(5)上方提供第二电极(7);且然后d)穿过第二电极(7)在第二电极(7)和无机介电层(5)中形成孔洞(9)的图案。本发明还涉及特别是通过本发明的方法获得的相对湿度传感器。
多孔硅相对湿度传感器的研究.doc
多孔硅相对湿度传感器的研究湿度传感器作为一种重要的传感器,在人类生产生活中也发挥着举足轻重的作用。湿度传感器自问世以来,已经有约两百年的历史,在这两百年中湿度传感器的发展速度惊人,现在已经朝着微型化、智能化、集成化等方向发展。本文从湿度传感器的感湿材料氧化多孔硅(OPS)出发,着眼于相对湿度传感器的结构,比较了几种传统多孔硅相对湿度传感器的结构,并在此基础上设计出了新的结构,最后给出了制作该传感器的工艺方法。本文的主要工作成果有:1、探索了制备多孔硅材料的新方法,新装置,在现有双槽的基础上设计出了一套新的
多孔硅相对湿度传感器的研究.doc
多孔硅相对湿度传感器的研究湿度传感器作为一种重要的传感器,在人类生产生活中也发挥着举足轻重的作用。湿度传感器自问世以来,已经有约两百年的历史,在这两百年中湿度传感器的发展速度惊人,现在已经朝着微型化、智能化、集成化等方向发展。本文从湿度传感器的感湿材料氧化多孔硅(OPS)出发,着眼于相对湿度传感器的结构,比较了几种传统多孔硅相对湿度传感器的结构,并在此基础上设计出了新的结构,最后给出了制作该传感器的工艺方法。本文的主要工作成果有:1、探索了制备多孔硅材料的新方法,新装置,在现有双槽的基础上设计出了一套新的
多孔硅相对湿度传感器的研究.docx
多孔硅相对湿度传感器的研究多孔硅相对湿度传感器的研究摘要:随着科技的不断发展,湿度传感器在各个领域发挥着重要的作用。本论文主要研究了一种基于多孔硅的相对湿度传感器。多孔硅具有较高的比表面积和可调控的孔径大小,使其成为传感器材料的理想选择。通过改变多孔硅的孔径和结构,可以实现对相对湿度的高灵敏度检测。在实验研究中,我们制备了多孔硅材料,并采用不同方法对其进行表征。实验结果表明,多孔硅相对湿度传感器具有较高的灵敏度和稳定性。这项研究对于深入了解多孔硅传感器材料的性能,并在实际应用中发挥其优势具有重要意义。1.