压力传感器和压力传感器的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110709680A(43)申请公布日2020.01.17(21)申请号201980002648.3(74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司1(22)申请日2019.03.261290代理人李成必李雪春(30)优先权数据2018-0782082018.04.16JP(51)Int.Cl.G01L1/20(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G01L5/00(2006.01)2019.11.29(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2019/0128492019.03.26(87)PCT国际申请的公布数据WO2019/202928JA2019.10.24(71)申请人日本梅克特隆株式会社地址日本东京都(72)发明人丰岛良一权利要求书1页说明书16页附图13页(54)发明名称压力传感器和压力传感器的制造方法(57)摘要本发明提供适合测量宽广范围的压力且具有较小的设置面积的压力传感器。所述压力传感器包括：多个传感器器件(U1)、(U2)，具有电极(19a、19b)和与所述电极(19a、19b)相对配置的导电膜(15)，且相对于电极(19a)、(19b)重叠在导电膜(15)的配置方向上；以及具有向所述多个传感器器件(U1)、(U2)输入电信号的通用的输入布线(21)和从多个传感器器件输出电信号的通用的输出布线(22)的布线板(10)。CN110709680ACN110709680A权利要求书1/1页1.一种压力传感器，其特征在于，包括多个传感器器件和布线板，所述多个传感器器件分别包括电极和与所述电极相对配置的导电膜，所述多个传感器器件重叠在相对于所述电极配置有所述导电膜的方向上，所述布线板包括向所述多个传感器器件输入电信号的共通的输入布线、以及从所述多个传感器器件输出电信号的共通的输出布线。2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述电极形成在所述布线板上。3.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，所述传感器器件的至少一部分，具备与所述电极的至少一部分重叠的突起。4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述突起分别设置在所述多个传感器器件上。5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，多个所述突起中的至少一个突起的端面，大小与其余的所述突起中的至少一个突起的端面不同。6.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，与所述多个传感器器件对应，设置有一个所述突起。7.根据权利要求1至6中任意一项所述的压力传感器，其特征在于，所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的与电阻相关的特性，与其余的所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的与电阻相关的特性彼此不同。8.根据权利要求7所述的压力传感器，其特征在于，所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的能和所述导电膜接触的所述电极的面积、与其余的所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的能和所述导电膜接触的所述电极的面积彼此不同。9.根据权利要求1至8中任意一项所述的压力传感器，其特征在于，所述多个传感器器件彼此并联。10.根据权利要求1至9中任意一项所述的压力传感器，其特征在于，所述电极包括第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极彼此分开，且具有能相互嵌合的形状。11.一种压力传感器的制造方法，其特征在于，包括：在布线板上形成包含多个电极和与所述多个电极的至少一个电极对应的导电膜的传感器器件、向多个所述传感器器件输入电信号的共通的输入布线、以及从多个所述传感器器件输出电信号的共通的输出布线；通过折叠所述布线板而将所述传感器器件彼此重叠。2CN110709680A说明书1/16页压力传感器和压力传感器的制造方法技术领域[0001]本发明涉及压力传感器和压力传感器的制造方法。背景技术[0002]在各种技术领域中，使用感知压力的压力传感器。压力传感器的几种用于移动终端和机器人等。对于这种用途的压力传感器，要求能够在比较狭窄的范围中设置亦即设置面积小。此外，要求压力传感器高精度地检测受到压力的位置。压力传感器的公知的例子，例如记载在专利文献1、专利文献2和专利文献3中。专利文献1记载的机械手的控制装置具有机器人的工件的握持部、以及用于检测与工件的接触压力的压力检测传感器。此外，专利文献2记载了包含并联连接的多个感应传感器的就座传感器。专利文献3记载了薄膜开关，其包括：设置在一对绝缘薄膜间且具有开口的接点部的垫片(spacer)；以及分别形成在所述开口的对置面上的电极。此外，在接点部的至少一方的绝缘薄膜的外表面设有突出部。[0003]现有技术文献[0004]专利文献1：日本专利公开公报特开平7-186078号[0005]专利文献2：日本专利公开公报特开2