一种晶圆电镀机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110468439A(43)申请公布日2019.11.19(21)申请号201910790850.9(22)申请日2019.08.26(71)申请人泉州洛江春禄机械科技有限公司地址362000福建省泉州市洛江区万安街道万福社区东方星城5号楼(72)发明人王改(51)Int.Cl.C25D7/12(2006.01)C25D17/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种晶圆电镀机(57)摘要本发明提供一种晶圆电镀机，其结构包括显示镜、机体、电镀机头、聚光固定机构、控制器、支撑螺纹杆、支撑管、旋转驱动器，显示镜安装于机体上，本发明通过设置聚光机构，通过旋转旋转钮，使其带动第一螺纹杆旋转对调整聚光器的照射角度，然后在旋转侧端的固定转动钮，使其带动第三螺纹杆旋转，从而让第三螺纹杆带动辅助固定板向两侧进行移动，使得聚光板也随其向两侧进行移动，在凸板的作用下聚光板的弧度将会变小，从而增大了聚光的能力，增强了对晶圆照射的亮度，从而能够有效的对晶圆进行照射，有效的避免灯光的涣散，而致使在对其进行电镀时，呈现出电镀的薄厚程度不一样的镀层。CN110468439ACN110468439A权利要求书1/1页1.一种晶圆电镀机，其结构包括显示镜(1)、机体(2)、电镀机头(3)、聚光固定机构(4)、控制器(5)、支撑螺纹杆(6)、支撑管(7)、旋转驱动器(8)，所述显示镜(1)安装于机体(2)上，所述电镀机头(3)嵌入安装于机体(2)下方，所述支撑螺纹杆(6)下端贯穿于旋转驱动器(8)上端，所述聚光固定机构(4)后端与旋转驱动器(8)前端固定连接，所述支撑螺纹杆(6)贯穿于机体(2)后侧，所述控制器(5)通过支撑管(7)与机体(2)连接，其特征在于：所述聚光固定机构(4)包括聚光机构(41)、支撑螺纹杆架(42)、稳定支撑块(43)、外罩壳(44)、固定器(45)，所述聚光机构(41)共设有两个，且安装于外罩壳(44)内两侧，所述支撑螺纹杆架(42)贯穿于稳定支撑块(43)上端，所述支撑螺纹杆架(42)与固定器(45)螺纹连接，所述支撑螺纹杆架(42)贯穿于外罩壳(44)右端面。2.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀机，其特征在于：所述聚光机构(41)包括聚光器(411)、第一螺纹杆(412)、旋转钮(413)、第二螺纹杆(414)，所述聚光器(411)前端与第一螺纹杆(412)后端相焊接，所述第一螺纹杆(412)与旋转钮(413)固定连接，所述聚光器(411)后端与第二螺纹杆(414)前端相焊接。3.根据权利要求2所述的一种晶圆电镀机，其特征在于：所述聚光器(411)包括支壳(111)、第三螺纹杆(112)、固定转动钮(113)、凸板(114)、辅助固定板(115)、聚光板(116)，所述第三螺纹杆(112)左侧与固定转动钮(113)右侧固定连接，所述第三螺纹杆(112)贯穿于支壳(111)左侧，所述第三螺纹杆(112)右侧与辅助固定板(115)左侧相焊接，所述辅助固定板(115)固定安装于聚光板(116)左侧，所述凸板(114)分别位于支壳(111)内上下两侧。4.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀机，其特征在于：所述支撑螺纹杆架(42)包括固定块(421)、半螺纹杆(422)、平衡架(423)、辅助连接块(424)、旋转盘(425)，所述固定块(421)内部设有轴承，所述半螺纹杆(422)嵌入于固定块(421)内轴承上，所述辅助连接块(424)设于半螺纹杆(422)之间，所述平衡架(423)焊接于固定块(421)上。5.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀机，其特征在于：所述固定器(45)包括晶圆放置盘(A)、支架板(B)、移动推板(C)、槽孔板(D)，所述移动推板(C)分别贯穿于晶圆放置盘(A)两侧，所述支架板(B)分别焊接于晶圆放置盘(A)前后端，所述移动推板(C)远离晶圆放置盘(A)的一侧与槽孔板(D)相焊接，所述平衡架(423)贯穿于槽孔板(D)板，所述半螺纹杆(422)与槽孔板(D)螺纹连接。2CN110468439A说明书1/4页一种晶圆电镀机技术领域[0001]本发明涉及晶圆电镀技术领域，具体为一种晶圆电镀机。背景技术[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；而在对晶圆进行加工时，通常需要在晶圆的表面电镀上一层其他的合金金属薄层，从而来提高晶圆的耐腐蚀性、耐磨性等作用，而在对晶圆进行电镀时，具有以下缺陷：[0003]当在对晶圆进行电镀时，由于外部的光线比较涣散，无法有效的对光线进行聚集，致使在对其进行电镀时，易出现镀层的薄厚控制不好，从而造成同一块晶圆，使用的寿命存在着很大的差异。[000