蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪及其加工方法.pdf
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蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪及其加工方法.pdf
本发明公开一种蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪,包括刻有信号引线的玻璃基底和安装于玻璃基底上的主单元,主单元包括蜂窝状振子单元、中心支撑柱、中心电极以及离散电极组件;蜂窝状振子单元安装于玻璃基底的中心位置,整体呈正六边形中心电极设置于玻璃基底的中心;中心支撑柱安装于蜂窝状振子单元的中心位置,且中心支撑柱向下伸出蜂窝状振子单元键合安装于中心电极;离散电极组件键合安装于玻璃基底且与玻璃基底的信号引线相连接,且设置于蜂窝状振子单元四周,离散电极组件包括检测电极、校正电极、驱动电极以及驱动检测电极。本发明外本发明是全
MEMS谐振器及其加工方法,时钟器件.pdf
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MEMS谐振器及陀螺仪的设计、加工与测试的任务书.docx
MEMS谐振器及陀螺仪的设计、加工与测试的任务书任务书一、任务概述该项目是基于MEMS技术研究谐振器及陀螺仪的设计、加工与测试。该技术领域在智能移动设备、汽车电子、航空航天等领域有广泛应用。本次任务旨在通过对MEMS谐振器及陀螺仪的研究和开发,提高该领域的核心技术水平,为实现MEMS技术的可靠性和稳定性作出贡献。二、任务目标1.设计一款高性能的MEMS谐振器及陀螺仪;2.利用MEMS技术进行加工和制造,提高制造工艺水平;3.进行一系列测试和性能评估,验证仪器的稳定性、精度和可靠性;4.输出可行性报告,展示
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本发明公开了一种压电MEMS硅谐振器及其形成方法,以及电子设备。该压电MEMS硅谐振器包括:硅基底;下空腔,下空腔的顶平面高于或者低于基底的顶平面;位于下空腔之上的保留硅层;位于保留硅层之上的压电层和上电极。形成方法包括:提供硅基底;在硅基底之上依次形成牺牲硅层、保留硅层、压电层和上电极;开刻蚀窗,去除牺牲硅层以形成下空腔,其中,牺牲硅层为第二掺杂浓度P型掺杂的情况下,硅基底与保留硅层二者中之一为普通N型掺杂,二者中另一为第一掺杂浓度P型掺杂,或者,牺牲硅层为第二掺杂浓度N型掺杂的情况下,硅基底与保留硅层