一种绝缘子表面涂层溅射制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109457226A(43)申请公布日2019.03.12(21)申请号201811062872.5(22)申请日2018.09.12(71)申请人国网江苏省电力有限公司泰州供电分公司地址225309江苏省泰州市凤凰西路2号申请人国网江苏省电力有限公司(72)发明人季昆玉王健毛锋翁蓓蓓杨君中(74)专利代理机构北京天盾知识产权代理有限公司11421代理人杨本官(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/16(2006.01)C23C14/58(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种绝缘子表面涂层溅射制备方法(57)摘要本发明属于配电结构防水处理技术领域，尤其涉及一种绝缘子表面涂层溅射制备方法。与传统的填充法涂层的微米级结构相比，传统的微米级结构为蜂巢状，水滴从巢孔上脱离时会受到一定的空气负压作用而粘附力较大；填充法涂层的纳米级突起为纳米粒子微球间靠树脂而粘结堆积在一起，而基于本发明方法制造的涂层的表面为纳米级棒状突起，水珠与表面的真实固液接触面积更小，在水滴运动时受到的阻力更小。CN109457226ACN109457226A权利要求书1/1页1.一种绝缘子表面涂层溅射制备方法，其特征在于，步骤一、将绝缘子放入足量的去离子水和无水乙醇中分别超声清洗10min并烘干待用；步骤二、将绝缘子固定在磁控溅射仪并进行保护，通过机械泵和分子泵抽真空到5×10-3Pa，往工作室中通入工作氩气，通过压强控制仪控制工作室的气压为1Pa；步骤三、打开射频电源预热10min，然后开启电源逐渐增加电压直至起辉，将功率调至120W，预溅射10min，以除去靶材表面的杂质与提高其溅射纯度；步骤四、移除绝缘子的保护结构，匀速旋转绝缘子，对绝缘子表面进行磁控溅射镀膜；步骤五、结束溅射，关闭射频电源，往溅射室中通入氩气使工作室气压恢复为常压，取出绝缘子；步骤六、将磁控溅射后的绝缘子在马弗炉中进行氧化退火，升温速度10℃/min，在400℃下保持30-50min，然后随炉冷却至室温；步骤七、调制十六烷基三甲氧基硅烷与乙醇的质量比为2：98的混合溶液，以60r/min的转速进行磁力搅拌60min以进行分散水解；将绝缘子放入混合30-50min，使硅烷分子在氧化锌表面进行自组装，对其进行低表面能改性；步骤八、取出绝缘子，使用乙醇冲洗干净，放入90℃鼓风干燥箱中干燥30-50min。2.根据权利要求1所述一种绝缘子表面涂层溅射制备方法，其特征在于，所述靶材是指锌靶，锌靶纯度不低于99％，所述工作氩气的纯度不低于99％。3.根据权利要求1所述一种绝缘子表面涂层溅射制备方法，其特征在于，所述步骤四中，溅射时靶基距不小于10cm，溅射时间不少于15min。2CN109457226A说明书1/3页一种绝缘子表面涂层溅射制备方法技术领域[0001]本发明属于配电结构防水处理技术领域，尤其涉及一种绝缘子表面涂层溅射制备方法。背景技术[0002]在绝缘子表面制备防水涂层能够有效提高绝缘子的绝缘性能，大大降低其在雨雪天气下表面导电概率，同时大幅降低绝缘子表面污渍附着力，防止污闪。绝缘子表面涂层制备方法众多，涂覆法简单易行，便于生产，但只能进行制备简单的胶覆涂层，涂层黏着力差，受外部环境的影响较大，难以满足一些对表面性能要求较高的场合。发明内容[0003]本发明创造的目的在于，提供一种能够在绝缘子表面构建高质量的纳米级防水涂层，其对绝缘子表面的结构改变较小，受外部环境影响小。[0004]为实现上述目的，本发明创造采用如下技术方案。[0005]本发明的一种绝缘子表面涂层溅射制备方法，包括如下步骤：[0006]步骤一、将绝缘子放入足量的去离子水和无水乙醇中分别超声清洗10min并烘干待用；[0007]步骤二、将绝缘子固定在磁控溅射仪并进行保护，通过机械泵和分子泵抽真空到5×10-3Pa，往工作室中通入工作氩气，通过压强控制仪控制工作室的气压为1Pa；[0008]步骤三、打开射频电源预热10min，然后开启电源逐渐增加电压直至起辉，将功率调至120W，预溅射10min，以除去靶材表面的杂质与提高其溅射纯度；[0009]步骤四、移除绝缘子的保护结构，匀速旋转绝缘子，对绝缘子表面进行磁控溅射镀膜；[0010]步骤五、结束溅射，关闭射频电源，往溅射室中通入氩气使工作室气压恢复为常压，取出绝缘子；[0011]步骤六、将磁控溅射后的绝缘子在马弗炉中进行氧化退火，升温速度10℃/min，在400℃下保持30-50min，然后随炉冷却至室温；[0012]步骤七、调制十六烷基三甲氧基硅烷与乙醇的质量比为2：98的混合溶液，以60r/min的转速进行磁力搅拌60min以进行分