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本发明公开了一种钕铁硼的表面防腐涂层制备方法,包括以下步骤:1)表面预处理:清洗磁体表面,烘干;2)表面清洗:抽真空,升温至100℃,通入氩气,腔体加负偏压,对样品进行等离子清洗;3)表面蒸镀:抽真空,升温至200~300℃,通入辅助气体,辉光放电产生等离子体,轰击金属靶材,真空蒸镀,在钕铁硼磁体表面蒸镀上复合涂层;所述辅助气体包括第一组分、第二组分和第三组分,所述第一组分为硅氮烷,所述第二组分为氮气、氨气中的一种或两种,所述第三组分为氩气、氦气;4)蒸镀结束后,继续抽真空至真空室温度降至100℃以下,关闭设备。本发明采用真空热蒸镀生成无机纳米颗粒?金属复合薄膜,使得钕铁硼磁体表面的耐腐蚀性能提高。