表面处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111424269A(43)申请公布日2020.07.17(21)申请号201911357841.7(22)申请日2019.12.25(30)优先权数据2019-0028632019.01.10JP(71)申请人上村工业株式会社地址日本大阪府(72)发明人内海雅之竹内雅治(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人崔成哲黄纶伟(51)Int.Cl.C23C18/38(2006.01)C23C18/16(2006.01)权利要求书3页说明书13页附图19页(54)发明名称表面处理装置(57)摘要本发明提供表面处理装置，减少浇流式的表面处理装置的处理液(Q)的飞散量。在搬运用挂钩(16)的铅垂下方设置有蜂巢部件(60)。蜂巢部件(60)通过连结多个空出有六边形的孔的筒状部件而成。在处理液(Q)沿铅垂方向(箭头(α)方向)落下时，该处理液(Q)穿过蜂巢部件的贯通孔。然后，在与液面(H)碰撞时，该处理液(Q)的一部分被反弹。反弹的处理液(Q)的一部分向倾斜方向反弹，因此与蜂巢部件(60)的贯通孔的内壁碰撞。由此，减少了在贯通孔的上表面再次出现的处理液(Q)的量。由此，蜂巢部件(60)实现飞散防止功能。CN111424269ACN111424269A权利要求书1/3页1.一种表面处理装置，其特征在于，该表面处理装置具有：处理室，其供被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；处理液浇流机构，其设置于所述处理室，使处理液从搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；区分壁，其是设置于所述处理室的区分壁，具有能够使所述被处理物以沿铅垂方向保持的状态搬入的搬入开口部；以及混入减少机构，其在所述处理室中设置于所述区分壁附近，减少从所述被处理物的下部落下的处理液在着地面被反弹而从所述搬入开口部向处理室的外部反弹的处理液的混入，所述混入减少机构是将多个纵长的单独筒状部件以开口部朝向铅垂方向的方式配置而成的形状。2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，所述处理室是第1处理室，所述处理液浇流机构是第1处理液浇流机构，该表面处理装置还具有：第2处理室，其与所述第1处理室相邻，供所述被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；以及第2处理液浇流机构，其设置于所述第2处理室，使第2处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流，所述区分壁设置于所述第1处理室与所述第2处理室之间，所述混入减少机构在所述第1处理室或所述第2处理室中设置于所述区分壁附近。3.根据权利要求2所述的表面处理装置，其特征在于，由多个纵长的所述单独筒状部件配置而成的形状是近似蜂巢形状。4.根据权利要求3所述的表面处理装置，其特征在于，所述近似蜂巢形状是蜂巢形状。5.根据权利要求2所述的表面处理装置，其特征在于，该表面处理装置还具有第1处理液回收机构，该第1处理液回收机构回收从所述被处理物的下部落下的第1处理液，并将该第1处理液供给到所述第1处理液浇流机构，或者该表面处理装置还具有第2处理液回收机构，该第2处理液回收机构回收从所述被处理物的下部落下的第2处理液，并将该第2处理液供给到所述第2处理液浇流机构。6.根据权利要求2所述的表面处理装置，其特征在于，该表面处理装置在所述第1处理室内的所述被处理物的下方具有第1处理液贮留部，该第1处理液贮留部贮留从所述被处理物的下部落下的第1处理液，在该第1处理液贮留部中，液面是露出的，在所述液面与所述混入减少机构的下表面之间设置有间隙。7.根据权利要求6所述的表面处理装置，其特征在于，所述第1处理液浇流机构抽吸贮留于所述第1处理液贮留部的第1处理液，并用所述第1处理液进行浇流。8.根据权利要求7所述的表面处理装置，其特征在于，2CN111424269A权利要求书2/3页该表面处理装置还具有空气流量控制机构，该空气流量控制机构对空气的流动进行控制使得在着地面被反弹的处理液沿所述铅垂方向返回。9.根据权利要求8所述的表面处理装置，其特征在于，所述被处理物呈片状，所述空气流量控制机构朝向片状的所述被处理物具有沿着搬入方向的横长的开口，从所述开口吸引空气。10.根据权利要求9所述的表面处理装置，其特征在于，所述空气流量控制机构具有沿着片状的所述被处理物的2个平面而在所述片状的被处理物的下部附近设置的缝隙状的引导部。11.一种表面处理装置，其特征在于，该表面处理装置具有：第1处理室，其供片状的被处理物以沿铅垂方向被保持的状态搬入；第1处理液浇流机构，其设置于所述第1处理室，使第1处理液从被搬入的所述被处理物的上部向沿所述铅垂方向被保持的被处理物的表面区域浇流；第2处理室，其与所述第1处理室相邻，供所述被处