表面处理装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116018430A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202180054900.2(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限(22)申请日2021.09.07公司11127专利代理师马莹邓毅(30)优先权数据2020-1552122020.09.16JP(51)Int.Cl.C25D21/10(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2023.03.06(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2021/0327862021.09.07(87)PCT国际申请的公布数据WO2022/059554JA2022.03.24(71)申请人ALMEX科技株式会社地址日本栃木县(72)发明人石井胜己权利要求书2页说明书10页附图7页(54)发明名称表面处理装置(57)摘要表面处理装置具有：收纳处理液的处理槽(100A、100B)；配置在处理槽内的阳极(142、152)；将工件(W)垂下地保持并将工件设定为阴极的夹具(10)；配置在阳极与工件之间的液体喷出部件(200)；以及使液体喷出部件相对于工件移动的移动机构(270A、270B)。液体喷出部件包含至少一对板材(210、220、230)，该至少一对板材在阳极与工件之间沿着朝向工件的延伸方向形成，并且在与该延伸方向交叉的方向上分离地配置，在至少一对板材之间引导通过液体喷出部件的移动而流动的处理液，使该处理液朝向工件喷出。CN116018430ACN116018430A权利要求书1/2页1.一种表面处理装置，其特征在于，所述表面处理装置具有：处理槽，其收纳处理液；阳极，其配置于所述处理槽内；夹具，其使浸渍于所述处理液的工件垂下地保持该工件，且将所述工件设定为阴极；液体喷出部件，其在所述阳极与所述工件之间配置于所述处理液中；以及移动机构，其使所述液体喷出部件相对于所述工件移动，所述液体喷出部件包含至少一对板材，所述至少一对板材在所述阳极与所述工件之间沿着朝向所述工件的延伸方向形成，并且在与所述延伸方向交叉的方向上分离地配置，在所述至少一对板材之间引导通过所述液体喷出部件的移动而流动的所述处理液并使所述处理液朝向所述工件喷出。2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，所述移动机构使所述液体喷出部件在与所述工件平行的往复方向上移动，所述液体喷出部件包含：第一引导体，其具有与所述往复方向交叉的两个面；以及第二引导体和第三引导体，它们分别与所述第一引导体的所述两个面隔开间隙地配置，所述至少一对板材包含：第一一对板材，它们由所述第一引导体和所述第二引导体形成；和第二一对板材，它们由所述第一引导体和所述第三引导体形成，在所述液体喷出部件向所述往复方向中的前进移动方向移动时，将由所述第一引导体阻挡的处理液沿着所述第一一对板材之间引导而朝向所述工件喷出，在所述液体喷出部件向所述往复方向中的返回移动方向移动时，将由所述第一引导体阻挡的处理液沿着所述第二一对板材之间引导而朝向所述工件喷出。3.根据权利要求2所述的表面处理装置，其特征在于，所述阳极包含配置于所述工件的两侧的第一阳极和第二阳极，所述液体喷出部件包含：第一液体喷出部件，其配置于所述第一阳极与所述工件之间；和第二液体喷出部件，其配置于所述第二阳极与所述工件之间，所述移动机构包含：使所述第一液体喷出部件移动的第一移动机构；和使所述第二液体喷出部件移动的第二移动机构。4.根据权利要求3所述的表面处理装置，其特征在于，所述表面处理装置还具有对所述第一移动机构赋予驱动力的第一驱动源和对所述第二移动机构赋予驱动力的第二驱动源，所述第一液体喷出部件和所述第二液体喷出部件被不同步地驱动。5.根据权利要求3或4所述的表面处理装置，其特征在于，通过使保持有所述工件的所述夹具从所述处理槽的上方下降而被安装，由此所述处理槽被划分为第一槽和第二槽。6.根据权利要求5所述的表面处理装置，其特征在于，所述处理槽在2个侧壁部的外侧分别包含缓冲槽，其中，所述2个侧壁部在所述往复方2CN116018430A权利要求书2/2页向上位于所述处理槽的两端，所述缓冲槽与所述第一槽和所述第二槽连通而收纳所述处理液。7.根据权利要求5所述的表面处理装置，其特征在于，所述处理槽包含在与所述往复方向平行的方向上连结且由第一缓冲槽划分的第一处理槽和第二处理槽，所述夹具包含：第一夹具，其保持第一工件，并将所述第一处理槽划分为所述第一槽和所述第二槽；和第二夹具，其保持第二工件，并将所述第二处理槽划分为所述第一槽和所述第二槽，所述第一缓冲槽使所述处理液在所述第一处理槽的所述第一槽、所述第二处理槽的所述第一槽、所述第一处理槽的所述第二槽以及所述第二处理槽的所述第二槽之间流通，所述第一处理槽在位于所述往复方向的