表面固化处理装置及表面固化处理方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101962744A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101962744A(43)申请公布日2011.02.02(21)申请号201010205179.6G01N33/00(2006.01)(22)申请日2010.06.13(30)优先权数据2009-1703452009.07.21JP(71)申请人东方工程公司地址日本东京都(72)发明人河田一喜木立彻关谷庆之(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人丁香兰庞东成(51)Int.Cl.C23C8/06(2006.01)G01N25/20(2006.01)权利要求书1页说明书20页附图2页(54)发明名称表面固化处理装置及表面固化处理方法(57)摘要本发明提供表面固化处理装置及表面固化处理方法。表面固化处理装置具备：氢浓度检测单元4，其基于处理炉2内的炉内气体的热导率检测炉内气体的氢浓度；炉内气体组成演算单元24，其基于氢浓度检测单元4检测的氢浓度演算炉内气体的组成即炉内气体组成；和气体导入量控制单元26，其根据炉内气体组成演算单元24演算的炉内气体组成和预先设定的设定炉内气体混合比率，在将两种以上的炉内导入气体向处理炉2内的导入量的比率即炉内导入气体流量比率保持为恒定值的状态下，控制两种以上的炉内导入气体向处理炉2内的合计导入量，以使炉内气体组成成为设定炉内气体混合比率，或者，分别控制两种以上的炉内导入气体的导入量以使炉内导入气体流量比率变化。CN1096274ACCNN110196274401962745A权利要求书1/1页1.一种表面固化处理装置，其中，将两种以上的炉内导入气体导入处理炉内，对配置于所述处理炉内的待处理品进行表面固化处理，所述两种以上的炉内导入气体包含在所述处理炉内产生氢的至少一种炉内导入气体，其特征在于，该装置具备：氢浓度检测单元，该氢浓度检测单元基于所述处理炉内的炉内气体的热导率，检测所述炉内气体的氢浓度；炉内气体组成演算单元，该炉内气体组成演算单元基于所述氢浓度检测单元检测的氢浓度，演算所述炉内气体的组成即炉内气体组成；和气体导入量控制单元，该气体导入量控制单元根据所述炉内气体组成演算单元演算的炉内气体组成和预先设定的设定炉内气体混合比率，在将所述两种以上的所述炉内导入气体向所述处理炉内的导入量的比率即炉内导入气体流量比率保持为恒定值的状态下，控制两种以上的所述炉内导入气体向所述处理炉内的合计导入量，以使所述炉内气体组成成为所述设定炉内气体混合比率，或者，分别控制所述两种以上的炉内导入气体的导入量以使所述炉内导入气体流量比率变化。2.如权利要求1所述的表面固化处理装置，其特征在于，该装置还具备：开关阀，该开关阀安装于所述处理炉和所述氢浓度检测单元之间，能够对连通所述处理炉和所述氢浓度检测单元的连通状态和封闭所述处理炉和所述氢浓度检测单元之间的封闭状态进行切换；和开关阀切换控制单元，该开关阀切换控制单元根据所述气体导入量控制单元的动作状态，将所述开关阀切换到所述连通状态或所述封闭状态。3.如权利要求1或2所述的表面固化处理装置，其特征在于，该装置还具备：氢浓度检测配管，该氢浓度检测配管连通所述处理炉和所述氢浓度检测单元；和配管温度控制单元，该配管温度控制单元控制所述氢浓度检测配管的温度，所述配管温度控制单元根据所述炉内导入气体的种类，将所述氢浓度检测配管的温度控制在25℃～450℃的范围内，以使所述炉内气体在所述氢浓度检测配管内不以固体的形式析出。4.一种表面固化处理方法，其中，将两种以上的炉内导入气体导入处理炉内，对配置于所述处理炉内的待处理品进行表面固化处理，所述两种以上的炉内导入气体包含在所述处理炉内产生氢的至少一种炉内导入气体，其特征在于，基于所述处理炉内的炉内气体的热导率，检测所述炉内气体的氢浓度；基于所述检测的氢浓度，演算所述炉内气体的组成即炉内气体组成；根据所述演算的炉内气体组成和预先设定的设定炉内气体混合比率，在将所述两种以上的所述炉内导入气体向所述处理炉内的导入量的比率即炉内导入气体流量比率保持为恒定值的状态下，控制所述两种以上的所述炉内导入气体向所述处理炉内的合计导入量，以使所述炉内气体组成成为所述设定炉内气体混合比率，或者，分别控制所述两种以上的炉内导入气体的导入量以使所述炉内导入气体流量比率变化。2CCNN110196274401962745A说明书1/20页表面固化处理装置及表面固化处理方法技术领域[0001]本发明涉及对金属制的待处理品进行表面固化处理(例如，氮化、软氮化、渗碳、碳氮共渗等)的表面固化处理装置及表面固化处理方法。背景技术[0002]以往，作为对金属制的待处理品(特别是钢件或金属模具)的表面固化处理，应用氮化处理或软氮化处理。与后述的渗碳