一种直拉硅单晶炉的复投料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102011177A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102011177A(43)申请公布日2011.04.13(21)申请号201010607220.2(22)申请日2010.12.27(71)申请人天津市环欧半导体材料技术有限公司地址300384天津市南开区华苑产业园区（环外）海泰东路12号(72)发明人康冬辉姚勇徐强张雪囡李建弘王林张焕新沈浩平(74)专利代理机构天津中环专利商标代理有限公司12105代理人莫琪(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图3页(54)发明名称一种直拉硅单晶炉的复投料装置(57)摘要本发明涉及一种直拉硅单晶炉的复投料装置，所述装置由钢制的投料筒、法兰、封底圆锥台、拉杆、拉杆管套和钼螺母等部分构成；采用钢材为结构材料，封底采用钢制的一个圆锥台进行封底，而控制结构则仅采用拉杆以及拉杆套管用于控制投料，这样比采用压杆、操纵连杆、以及压杆滑轮、插板阀等组成的复杂控制结构要简单很多。而且投料筒底部直径较小，这样可以使物料投放更加集中，从而避免投料时多晶料块掉到坩埚外部的情况，本复投料装置不但结构简单、耐用、操作简便而且使用时较为稳定。CN1027ACCNN102011177102011180AA权利要求书1/1页1.一种直拉硅单晶炉的复投料装置，其特征在于：所述装置由拉杆(1)、拉杆套管(2)、法兰(3)、钢制投料筒(4)、封底锥台(5)、钼螺母（6）和固定杆(7)构成；所述投料筒(4)上部外围焊接有钢制法兰(3)；所述投料筒(4)内部结构由活动部件和固定部件两个部分组成；所述活动部件包括封底锥台(5)和拉杆(1)，拉杆(1)下端头加工有螺纹，封底锥台(5)中心加工有通孔，拉杆(1)下端头穿过封底锥台(5)中心孔，通过用钼螺母（6）锁紧，封底锥台(5)与拉杆(1)紧固连接；所述固定部件包括拉杆套管(2)和固定杆(7)，拉杆套管(2)固定在固定杆(7)上，固定杆(7)固定在投料筒(4)内壁上；拉杆(1)套在拉杆套管(2)内，拉杆(1)上下拉动封底锥台(5)，由封底锥台(5)封住投料筒底口。2.如权利要求1所述直拉硅单晶炉的复投料装置，其特征在于：拉杆(1)与拉杆套管(2)滑动配合。2CCNN102011177102011180AA说明书1/2页一种直拉硅单晶炉的复投料装置技术领域[0001]本发明涉及硅单晶炉配套设备，特别涉及一种直拉硅单晶炉的复投料装置。背景技术[0002]为了避免直拉硅单晶生产中的单次投料不足问题以及石英坩埚使用寿命短的问题，多种结构和材料的直拉复投料装置被发明并投入到生产中，目的是提供硅晶棒的成品率和石英坩埚的寿命，以达到提高产出和降低成本的目的。[0003]目前国内市场上常见的硅单晶炉连续投料装置有三种：第一种是用石英做成的，但石英易碎、不耐用而且造价较高；第二种采用不锈钢为结构材料，底部由三片至六片不锈钢叶片及重锤的组合进行封底，叶片与料筒采用合页连接。但此种装置结构较为复杂，而且底部的合页结构容易在投料时被高温软化变形甚至脱落，使用性能不稳定；第三种采用压杆、操纵连杆、以及压杆滑轮、插板阀等作为控制结构，而且在使用中需在投料筒的底部用硅片来进行封底。不但结构复杂，需对设备进行改造，而且操作较为烦琐。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种结构简单、耐用、操作简便且稳定性好的复投料装置。[0005]为达到以上目的，本发明的复投料装置采用钢为结构材料，封底结构中不再使用钢叶片和重锤、硅片等封底，仅采用钢制的一个圆锥台进行封底。而控制结构则仅采用拉杆以及拉杆套管用于控制投料，这样比采用压杆、操纵连杆、以及压杆滑轮、插板阀等组成的复杂控制结构要简单很多。而且投料筒底部直径较小，这样可以使物料投放更加集中，从而避免投料时多晶料块掉到坩埚外部的情况。[0006]本发明是通过这样的技术方案实现的：一种直拉硅单晶炉的复投料装置，其特征在于：所述装置由拉杆、拉杆套管、法兰、钢制投料筒、封底锥台、钼螺母和固定杆构成；所述投料筒上部外围焊接有钢制法兰；所述投料筒内部结构由活动部件和固定部件两个部分组成；所述活动部件包括封底圆锥台和拉杆，拉杆下端头加工有螺纹，封底锥台中心加工有通孔，拉杆下端头穿过封底锥台中心孔，通过用钼螺母锁紧，封底锥台与拉杆紧固连接；所述固定部件包括拉杆套管和固定，拉杆套管固定在固定杆上，固定杆固定在投料筒内壁上；拉杆套在拉杆套管内，拉杆上下拉动封底锥台，由封底锥台封住投料筒底口；拉杆与拉杆套管滑动配合；下部底部直径较小的锥形台。[0007]本发明的复投料装置采用钢为结构材料，封底结构中不再使用钢叶片和重锤、3CCNN102011177102011