多晶硅铸锭炉隔热装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102134744A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102134744A(43)申请公布日2011.07.27(21)申请号201110105356.8(22)申请日2011.04.26(71)申请人安阳市凤凰光伏科技有限公司地址456400河南省安阳市滑县产业聚集区大三路南侧(72)发明人刘瑞柱王俊涛熊涛涛印亚峰(74)专利代理机构安阳市智浩专利代理事务所41116代理人王好勤(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称多晶硅铸锭炉隔热装置(57)摘要本发明公开了一种多晶硅铸锭炉隔热装置，涉及多晶硅铸锭炉热场保温技术领域，在坩埚和加热器的外部设置有隔热笼，隔热笼由钢架及为钢架所固定的隔热板所构成，四周的隔热笼内侧板外设置有隔热笼外侧板，隔热笼内、外侧板均分为上下两部分，在上隔热笼内侧板的内侧设置有1－4块C/C复合板，C/C复合板通过固定螺丝与上隔热笼内侧板和上隔热笼外侧板固定起来。所述的C/C复合板为炭材料复合板。本发明的有益效果是：减少原隔热板长时间高温烘烤导致的掉粉现象，提升隔热笼内部的保温性能，有效提高硅锭质量，减少硅锭碳含量和阴影；可使隔热板内侧保温板的使用寿命延长至2年左右。节能降耗、降低生产成本。CN102347ACCNN110213474402134749A权利要求书1/1页1.多晶硅铸锭炉隔热装置，在坩埚和加热器的外部设置有隔热笼，隔热笼由钢架及为钢架所固定的隔热板所构成，隔热笼为矩形体，共有六个面，其中，四周的隔热笼内侧板分为上下两部分，即上隔热笼内侧板和下隔热笼内侧板；隔热笼内侧板外设置有隔热笼外侧板，隔热笼外侧板分为上下两部分，即上隔热笼外侧板和下隔热笼外侧板；其特征在于：在上隔热笼内侧板的内侧设置有1－4块防护板，所述的防护板指C/C复合板，C/C复合板通过固定螺丝与上隔热笼内侧板和上隔热笼外侧板固定起来。2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：在下隔热笼内侧板的内侧设置有1－4块C/C复合板，C/C复合板通过固定螺丝与下隔热笼内侧板和下隔热笼外侧板固定起来。3.根据权利要求1或2所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：固定螺丝指石墨螺杆和石墨螺母。4.根据权利要求1或2所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板厚为0.3－1cm。5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板要求：碳元素含量≥99%。6.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板要求：Al、Ca、Cr、Cu、Fe、K、Mg、Mn、Na、Ni总杂质含量≤1ppm。7.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板要求：长期承受1500－2200℃温度不变形。8.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板要求：平行纤维方向、垂直纤维方向拉伸强度均≥5MPa、拉伸模量≥30GPa、导热率≥2W/mK、热膨胀系数≥0.2×10-6/K。9.根据权利要求8所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板要求：C/C复合板平行纤维方向的拉伸强度为垂直纤维方向拉伸强度10－100倍。2CCNN110213474402134749A说明书1/3页多晶硅铸锭炉隔热装置技术领域[0001]本发明涉及多晶硅铸锭炉技术领域，尤其是多晶硅铸锭炉热场保温技术领域。背景技术[0002]多晶硅铸锭炉隔热笼包括顶板、底板和四周的侧板，且隔热笼侧板分为上下两部分和内外两层。隔热笼上部分内侧隔热板离侧面加热器较近且隔热板为石墨碳毡材料，长时间高温烘烤后隔热板会出现严重粉化；当隔热笼侧板上下运动时，侧板与顶板摩擦使粉化的石墨粉滑落。长此下去侧面内侧隔热板就会变薄，进而影响隔热笼的整体保温效果，导致运行时加热功率增加和热场的温度梯度出现不均匀，从而导致硅锭长晶时出现阴影。滑落的石墨粉进入熔化的硅液中，使硅锭的碳化物严重超标。为了保证炉子的正常使用和硅锭的质量指标，隔热笼上部分内侧保温板使用1年左右就需要更换。这样，无疑增加了成本，且在一定程度上影响生产进度。[0003]因此解决好此问题很有必要。发明内容[0004]本发明的目的是提供一种多晶硅铸锭炉隔热装置，它克服了现有技术的缺陷，可大大减少隔热板粉化，延长设备的使用寿命，降低生产成本，提高硅锭的质量指标。[0005]本发明的目的是通过以下方案实现的：多晶硅铸锭炉隔热装置，在坩埚和加热器的外部设置有隔热笼，隔热笼由钢架及为钢架所固定的隔热板所构成，隔热笼为矩形体，共有六个面，其中，四周的隔热笼内侧板分为上下两部分，即上隔热笼内侧板和下隔热笼内侧板；隔热