一种单晶炉加热装置.pdf
灵波****ng
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相关资料
单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法.pdf
本发明公开了单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法,本发明设计的单晶炉加热装置,通过电源系统对第一发热体进行供热,且第一发热体再将热量快速传递到第二发热体,通过在第二发热体与第一发热体上边侧等距均匀设置热量传导柱,以及在对接环上嵌接设置的环形热量传导片的传导作用,保证单晶炉加热装置加热工作的均匀性,进而使得单晶硅受热均匀,保证其加工产品质量;且加热装置提供的热能充分,且不会造成能源的浪费,提升整体生产经济效益;满足实际生产需求。
单晶炉加热装置、单晶炉及单晶炉的加热方法.pdf
本发明公开了一种单晶炉加热装置、单晶炉及单晶炉的加热方法,单晶炉加热装置包括第一加热结构,且沿周向第一加热结构的上端部至下端部的高度一致;第二加热结构,位于第一加热结构下方;第三加热结构,位于第二加热结构下方;第一加热结构的加热控制机构与第二加热结构、第三加热结构的加热控制机构不同,且第一加热结构的高度满足在等径生长阶段坩埚中的熔液处于第一加热结构的高度范围内。本发明第一加热结构的上端部至第一加热结构的下端部的高度一致,在等径生长阶段第一加热结构提供的热量能使熔液维持熔融状态,使熔液中和固液界面处有足够的
一种单晶炉加热装置.pdf
一种单晶炉加热装置,涉及熔融单晶硅炉装置的领域,包括炉底、炉室和炉盖,炉室包括下炉室和主炉室,炉盖的上端设置炉口,炉室内设置保温桶、下保温层和上保温层,保温桶包括下保温桶、中保温桶和上保温桶,炉室与保温桶之间设置第一碳毡保温层;炉底上穿置坩埚托杆,坩埚托杆的上端设置三瓣埚底座,三瓣埚底座的上方设置三瓣埚,三瓣埚内设置石英坩埚,石英坩埚的上方设置外导流筒,外导流筒内设置内导流筒,内导流筒与外导流筒之间设置第二碳毡保温层;保温桶与三瓣埚之间设置加热器,加热器的下端连接两个石墨电极,下保温桶上连接排气管。本发明
单晶炉的加热装置.pdf
本发明涉及一种单晶炉的加热装置,包括石墨坩埚和锅托体,所述石墨坩埚表面上设有若干个凹槽,石墨坩埚底面上设有凸台,所述锅托体设置于石墨坩埚下面,锅托体由锅托台和支架构成,锅托台为一个直径逐渐增大的圆柱形腔体,锅托台与石墨坩埚相接触的表面上设有与凸台相适应的卡槽,支架设置于锅托台的下表面。本使用新型具有导热快,加热均匀,装置牢固,结构简单,使用寿命长等特点。
一种用于单晶炉的进料加热装置.pdf
本发明涉及一种用于单晶炉的进料加热装置,包括输送筒体、伺服电机、转动轴、螺旋叶片和加热蒸汽管,所述的输送筒体左端的顶部开设有进料口,所述的进料口的上端安装有密封盖,所述的输送筒体右端的底部开设有出料口,所述的出料口内安装有密封组件,所述的伺服电机安装在输送筒体左端的外壁上,所述的转动轴转动连接在输送筒体内,所述的转动轴的右端活动连接在输送筒体右端的内壁上,所述的转动轴的左端穿过输送筒体与伺服电机相连,所述的螺旋叶片安装在转动轴上;本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。