一种真空加热设备.pdf
邻家****66
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相关资料
一种真空加热设备.pdf
本发明公开了一种真空加热设备,解决了现有真空加热设备结构不合理需要经常更换加热钼带的问题。包括在炉胆外套(7)上分别设置有两个磁套(6)和电极(8),销子(11)的一端通过螺母(12)固定设置在炉胆外套(7)内的炉胆内腔上,销子(11)的另一端与磁座(14)通过钼丝(13)连接在一起,加热钼带(10)的一端与电极(8)固定连接,加热钼带(10)的另一端与另一电极固定连接,加热钼带(10)是在炉胆外套(7)内的炉胆内腔中沿炉胆弧形分布的,在加热钼带(10)上设置有平行的两道压痕(5)。本发明使加热钼带不变形
一种真空加热脱水设备.pdf
一种真空加热脱水设备,包括机架、圆柱形转筒、中空轴、导电滑片、电热管、温度传感器、温控仪,转筒一侧有转动齿轮,转动齿轮通过齿轮和动力电机相连。转筒内有搅拌片,转筒一侧有密封盖。其特征是:(1)电加热管附在圆柱形转筒外壁。(2)温度传感器通过安装孔插入转筒内部。(3)温控仪和继电器安装在中空轴上。(4)导电滑片安装在中空轴上,(5)温控仪和继电器通过导电滑片和外界电源相连(6)电加热管和继电器相连(7)电加热管外层包覆有隔热层。
一种真空加热去气炉设备.pdf
本发明涉及退火去气技术领域,尤其涉及一种真空加热去气炉设备,一种真空加热去气炉设备,包括机架以及设置在机架上的去气炉炉体,所述去气炉炉体上转动设有一上盖,还包括有:升降装置,所述升降装置包括有电机、升降导柱,所述电机为所述升降导柱的一端连接电机,另外一端活动连接上盖,真空生成检测装置,所述真空生成检测装置包括有机械泵、分子泵、真空腔以及若干个高真空规管,所述机械泵固定在机架上,所述分子泵的一端连接机械泵,另外一端连接真空腔,所述真空腔的一端连接分子泵,另外一端通过法兰连接在去气炉炉体上,加热装置,所述加热
真空加热设备.pdf
一种真空加热设备。防止由于真空加热设备中的辐射加热导致的O型圈的劣化,从而允许以良好的退火特性对基板进行热处理。真空加热设备(1)包括:真空室(2),其由具有开口部(9)并且被接合在一起的凸缘(11,12)构成;涡轮分子泵(17),其用于从真空室(2)排出气体;以及加热器基座(3),其用于对载置于真空室(2)中的基板(5)进行加热。由O型圈(10)密封凸缘(11,12)的接合面。此外,在凸缘(11,12)的接合面上,在加热器基座(3)和O型圈(10)之间形成结合台阶(13),由此防止来自加热
一种真空设备加热带支撑座.pdf
本发明公开了一种真空设备加热带支撑座,解决了在高温段加热时加热元件由于变形造成断裂的问题。包括炉胆外套(10)、螺母(11)、销子(5)和倒T形支撑座(3),销子(5)的顶端穿过炉胆外套(10)与螺母(11)螺接在一起,销子(5)的末端依次穿过隔槽(9)、隔热屏(8)和垫片(7)后与钼丝(6)连接在一起,钼丝(6)通过长条孔(4)将倒T形支撑座(3)与销子(5)的末端绑接在一起,在倒T形支撑座(3)的头部下方设置有凹槽(12),加热钼带(1)活动穿过该凹槽(12),头部钼丝(2)缠绕在倒T形支撑座(3)的