薄膜层光伏模块制品的处理.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102237447A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102237447A(43)申请公布日2011.11.09(21)申请号201110113758.2(22)申请日2011.04.21(30)优先权数据12/766，1352010.04.23US(71)申请人初星太阳能公司地址美国科罗拉多州(72)发明人C·A·谢菲尔B·R·墨菲(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001代理人柯广华朱海煜(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图5页(54)发明名称薄膜层光伏模块制品的处理(57)摘要一般提供用于碲化镉薄膜光伏器件10的处理的系统和过程。该系统可以包括处理系统100和传送系统110。该处理系统100包括预热部分102、处理腔104和退火炉106，其在该处理系统100内一体式地互连。该传送系统110可操作地设置在该处理系统100内并且配置用于采用连续设置以可控速度将衬底12运输进入和通过预热部分102，进入和通过处理腔104，以及进入和通过退火炉106。处理腔104配置用于施加材料到衬底12的表面上的薄膜，并且退火炉106配置成当衬底12由传送系统110连续传送通过处理腔104时加热衬底12到退火温度。CN102374ACCNN110223744702237452A权利要求书1/2页1.一种用于碲化镉薄膜光伏器件(10)的处理的设备，所述设备包括：处理系统(100)，其包括预热部分(102)、处理腔(104)和退火炉(106)，其中所述预热部分(102)、所述处理腔(104)和所述退火炉(106)在所述处理系统(100)内一体式互连；以及传送系统(110)，其可操作地设置在所述处理系统(100)内并且配置用于采用连续设置以可控速度将衬底(12)运输进入和通过所述预热部分(102)、进入和通过所述处理腔(104)以及进入和通过所述退火炉(106)，其中所述处理腔(104)配置用于施加材料到所述衬底(12)上的薄膜，并且所述退火炉(106)配置成当所述衬底(12)由所述传送系统(110)连续传送通过所述处理腔(104)时加热所述衬底到退火温度。2.如权利要求1所述的设备，其中所述处理腔(104)包括配置成喷射液体到所述衬底(12)的表面上的喷头(105)。3.如权利要求1或2所述的设备，进一步包括连接到所述喷头(105)并且配置成提供所述液体的连续流到所述喷头(105)的源槽。4.如权利要求1至3中任一项所述的设备，其中所述处理腔(104)包括配置成施加液体到所述衬底(12)的表面的施加器辊(120)。5.如权利要求1至4中任一项所述的设备，其中所述传送系统(110)包括穿越所述处理系统(100)的单个传送带(113)。6.如权利要求5所述的设备，其中所述传送系统(110)进一步包括配置成清洁所述单个传送带(113)的清洁系统。7.如权利要求6所述的设备，其中所述清洁系统包括清洁槽(130)，其放置使得所述单个传送带(113)在返回路径上通过所述清洁槽(130)。8.如权利要求1至7中任一项所述的设备，其中所述处理系统(100)包括多个互连模块化单元，其中所述模块化单元中的每个具有独立传送器。9.如权利要求8所述的设备，其中所述模块化单元中的每个被独立控制使得所述衬底(12)以期望的预热速度、沉积速度和退火速度被传送通过所述处理系统(100)。10.如权利要求8所述的设备，其中所述处理腔(104)被限定在个体模块内，并且所述独立传送器包括传送带和配置成清洁所述传送带的清洁系统。11.如权利要求1至10中任一项所述的设备，其中所述处理系统(100)进一步包括冷却腔(108)，其中所述预热部分(102)、所述处理腔(104)、所述退火炉(106)和所述冷却腔(108)集成在所述处理系统(100)内。12.如权利要求1至11中任一项所述的设备，其中所述预热部分(102)、所述处理腔(104)和所述退火炉(106)中的每个由限定缝隙入口的壁分开，所述缝隙入口确定大小以通过其接收所述衬底。13.一种用于碲化镉薄膜光伏器件(10)的处理的过程，所述过程包括：将衬底(12)各个地引入预热腔(102)；在所述预热腔(102)内加热所述衬底(12)到沉积温度；采用连续设置传送所述衬底(12)进入一体式互连到所述预热腔(102)的处理腔(104)；2CCNN110223744702237452A权利要求书2/2页施加处理成分于所述衬底(12)的表面；采用连续设置传送所述衬底(12)进入一体式互连到所述处理腔(104)的退火炉(106)；以及在从约250℃至约500℃的退火温度将所述衬底(12)退火。14.如权利要求13所述的过程，其中所