一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102332500A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102332500A(43)申请公布日2012.01.25(21)申请号201110299285.X(22)申请日2011.09.28(71)申请人桂林尚科光伏技术有限责任公司地址541300广西壮族自治区桂林市兴安县工业集中区C1区(72)发明人孙良欣周坚郭育林(74)专利代理机构北京市商泰律师事务所11255代理人毛燕生(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L21/322(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法(57)摘要本发明公开了一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法，包括以下步骤：(1)高浓度磷扩散：由N2携带高浓度的POCL3进入扩散炉管，在硅片正表面沉积一层浓磷扩散层；(2)去除浓磷扩散层：将沉积浓磷扩散层的硅片重新酸洗制绒，去除硅片正表面的浓磷扩散层；(3)制绒：重新制绒，形成新的绒面。(4)测试制绒后硅片的电阻率。本发明工艺采用浓磷扩散的方式，在POCL3气氛下热处理，在硅片内部形成高磷层，经过处理后的金属杂质会聚集在磷重扩的地方，通过酸洗工艺出除，从而达到吸杂的作用。CN10235ACCNN110233250002332513A权利要求书1/1页1.一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法，其特征在于含有以下步骤：(1)高浓度磷扩散：由N2携带高浓度的POCL3进入扩散炉管，在硅片正表面沉积一层浓磷扩散层；(2)去除浓磷扩散层：将沉积浓磷扩散层的硅片重新酸洗制绒，去除硅片正表面的浓磷扩散层；(3)制绒：重新制绒，形成新的绒面；去除硅片浓磷区固定的金属杂质；(4)测试制绒后硅片的电阻率。2.根据权利要求1所述的一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法，包括以下步骤：浓磷重扩步骤：炉管恒温扩散温度为850-1000℃，N2的通入量为22000-25000sccm，POCL3的通入量为2200-2500sccm，O2的通入量为1500sccm，扩散时间为20-35min；去浓磷扩散层步骤：由于浓磷扩散形成的硅片表面会形成一层重磷扩散区，将上述处理过的硅片放入浓度为9％-11％的氢氟酸溶液中浸泡10-20min，去掉硅片表面的重磷扩散层；重新制绒步骤：将上述去掉重磷扩散层的硅片重新制绒；测试步骤：测试制绒后的硅片的电阻率。3.根据权利要求2所述的一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法，其特征在于步骤(1)所叙述的恒定扩散温度为860℃，扩散时间为35min。4.根据权利要求2所述的一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法，其特征在于步骤(1)所叙述的恒定扩散温度为880℃，扩散时间为25min。5.根据权利要求2所描述的一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法，其特性在于步骤(1)所叙述的恒定扩散温度为900℃，扩散时间为15min。2CCNN110233250002332513A说明书1/3页一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法技术领域[0001]本发明涉及一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法，属于太阳能电池领域。背景技术[0002]太阳能晶体硅在硅片的制备生产等工序中会引入高密度的缺陷和杂质，杂质和缺陷的存在会在禁带中引人允许电子占据的能级，且极微量的杂质都会严重影响晶体硅的电性能。浓磷吸杂是利用浓磷扩散形成重扩散层，磷的掺入会引起费米能级的变化，在与缺陷的非平衡过程中，离子成对效应会增强，金属的固溶度会增加，最后达到吸杂的目的。发明内容[0003]本发明的目的是提供一种太阳能电池制造过程中去除硅片本体金属杂质的浓磷吸杂工艺方法。[0004]该工艺方法可以通过重磷扩散工艺方法，在浓磷区固定硅片本体的金属杂质，然后通过酸洗工艺去除这些金属杂质，减少硅片本体的复合中心，提高短路电流，从而提高了硅片的转化效率。[0005]本发明的内容通过采取以下技术措施予以实现：[0006]一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法，含有以下步骤：[0007](1)高浓度磷扩散：由N2(氮气)携带高浓度的POCL3(三氯氧磷)进入扩散炉管，在硅片正表面沉积一层浓磷扩散层；[0008](2)去除浓磷扩散层：将沉积浓磷扩散层的硅片重新酸洗制绒，去除硅片正表面的浓磷扩散层；[0009](3)制绒：重新制绒，形成新的绒面；去除硅片浓磷区固定的金属杂质；[0010](4)测试制绒后硅片的电阻率。[0011]一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法，在炉管恒温860-900℃情况下，通过N2携带液态POCL3气体，在硅片的表面沉积重磷扩散层，然后重新清洗并重新制绒，去除硅片浓磷区固定的金属杂质，达到吸杂的目的。[0012]一种用于太阳电池制造的吸杂工艺方法，包括以下步骤：[0013]1、浓磷重扩步骤：炉管