用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102677156A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102677156A(43)申请公布日2012.09.19(21)申请号201210189952.3(22)申请日2012.06.11(71)申请人曾泽斌地址310013浙江省杭州市西湖区求是村67栋1单元702(72)发明人曾泽斌(74)专利代理机构杭州求是专利事务所有限公司33200代理人张法高(51)Int.Cl.C30B15/02(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书55页页附图附图66页(54)发明名称用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置(57)摘要本发明公开了一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置。通过使用挡料球作为多晶硅的隔离装置，使用导料管作为注入多晶硅的通过闸板阀或翻板阀的导料装置，使用闸板阀或翻板阀作为隔离直拉硅单晶炉真空的装置，这些装置的尺度远大于块状多晶硅的粒度，使本发明的一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置能够向直拉硅单晶炉内加注粒度小于50mm的块状多晶硅和粒度小于5mm的颗粒多晶硅，解决了现有的多晶硅加料仓只能向直拉硅单晶炉内加注粒度小于5mm的颗粒多晶硅，不能加注块状多晶硅的难题。CN102675ACN102677156A权利要求书1/2页1.一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置,其特征在于：从上到下顺次设有仓盖（18）、仓体（19）、翻板阀体（30），仓盖（18）上方从左到右顺次设有挡料球升降组件、导料管升降组件、加料口（17），挡料球升降组件从上到下顺次设有电机（9）、减速机（10）、固定架（11）、导向滑杆（13）、丝杆（12）、波纹管提升件（14）、波纹管（15）、提升杆（16），电机（9）、减速机（10）、导向滑杆（13）、丝杆（12）安装在固定架（11）上，波纹管提升件（14）通过内螺纹连接在丝杆（12）上并可沿导向滑杆（13）上下滑动，波纹管（15）、提升杆（16）安装在波纹管提升件（14）的下方，导料管升降组件从上到下顺次设有电机（1）、减速机（2）、固定架（6）、导向滑杆（5）、丝杆（4）、波纹管提升件（3）、波纹管（7）、提升杆（8），电机（1）、减速机（2）、导向滑杆（5）、丝杆（4）安装在固定架（6）上，波纹管提升件（3）通过内螺纹连接在丝杆（4）上并可沿导向滑杆（5）上下滑动，波纹管（7）、提升杆（8）安装在波纹管提升件（3）的下方，仓体（19）上部内从外到内顺次设有石英玻璃内套（20）、挡料球（23）、挡料球升降杆（22）、导料管升降杆（21），仓体（19）下部内设有导料管（25），导料管（25）通过导料管挂钩（29）悬挂在导料管升降杆（21）的下端，导料管挂钩（29）由内环（48）、拉杆（49）、固定螺钉（50）、环形托（51）构成，环形托（51）的底部形状为圆环形并与导料管（25）的底部紧密相连，导料管升降杆（21）穿过内环（48）安装，仓体（19）下部外侧壁上设有真空抽气口（28）、真空阀（27）、观测窗（26）、进气口（24），翻板阀体（30）包括密封圈（33）、隔离板（31）、磁流体密封件（52）、摇杆（32），翻板阀体（30）底部设有密封圈（33），翻板阀体（30）的下端设有下法兰（34），翻板阀体（30）外侧壁设有磁流体密封件（52）、摇杆（32），摇杆（32）通过磁流体密封件（52）与隔离板（31）相连。2.如权利要求1所述的一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置,其特征在于：所述的石英玻璃内套（20）上段为圆柱体，圆柱体内径D1为400-800mm，石英玻璃内套（20）中段为圆锥体，圆锥体的半角α1为15-45º，仓体（19）上段圆柱体部分和中段圆锥体部分的总高度H与D1的比为1.2-2:1，挡料球23的直径D2为110-200mm，挡料球（23沿直径方向开有通孔，通孔直径D3为15-25mm，石英玻璃内套（20）下段圆柱体的高度H1与导料管（25）的高度h3之比约为1:1，石英玻璃内套（20）下段圆柱体的高度H1与翻板阀体（30）的高度H2之比为1-1.5:1，石英玻璃内套（20）下段圆柱体内径D4为100-160mm，隔离板（31）的直径D5为140-200mm，密封圈（33）的内径为130-190mm，石英玻璃内套（20）的壁厚为5-10mm。3.一种用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置,其特征在于：从上到下顺次设有仓盖（18）、仓体（19）、翻板阀体（30），仓盖（18）上方从左到右顺次设有挡料球升降组件、导料管升降组件、加料口（17），挡料球升降组件从上到下顺次设有电机（9）、减速机（10）、固定架（11）、导向滑杆（13）、丝杆（12）、波纹管提升件（14）、波纹管（