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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102709135102709135B(45)授权公告日2014.10.15(21)申请号201210206175.9CN201673884U,2010.12.15,全文.(22)申请日2012.06.20审查员梁忠益(73)专利权人陈玲地址214041江苏省无锡市北塘区康桥丽景花园20号601室(72)发明人陈玲董云峰李建平(74)专利代理机构无锡华源专利事务所(普通合伙)32228代理人孙力坚(51)Int.Cl.H01J9/385(2006.01)H01J9/38(2006.01)(56)对比文件CN202796838U,2013.03.13,权利要求1-3.CN101840829A,2010.09.22,全文.权权利要求书2页利要求书2页说明书6页说明书6页附图1页附图1页(54)发明名称高效节能热丝灯的制造方法及其装置(57)摘要本发明提供了一种高效节能热丝灯的制造方法及其装置,其中的制造装置包括由管道连接的两个容器、两台机械泵、一台扩散泵、电炉、水箱、冷却器、五个三通阀和两个单向阀。将现有的两台排气车合并为一台,共用一台扩散泵和电炉,结构更简单化,达到节约设备和能耗的目的。制造方法上,在对一侧灯管容器进行预烘烤时,可同时进行对另一侧灯管容器的上管、搭丝工作,争取时间差,提高工作效率。在对灯管容器进行精抽时,可对两侧灯管容器同时进行精抽,也可单侧进行精抽。在向灯管容器中充入氩气或氖气时,也采用单侧控制。实际操作中可轮流单独进行,互不影响。CN102709135BCN1027935BCN102709135B权利要求书1/2页1.一种高效节能热丝灯的制造方法,其特征在于制造步骤如下:(一)关闭连通第一容器(1)、第二容器(2)与大气的第一单向阀(15)、第二单向阀(16),关闭连通第一容器(1)、第二容器(2)与第一机械泵(3)、第二机械泵(4)、扩散泵(5)的第一三通阀(10)、第二三通阀(11)、第三三通阀(12),关闭连通第一容器(1)、第二容器(2)与氩气源、氖气源的第四三通阀(13)、第五三通阀(14);分别开启第一机械泵(3)、第二机械泵(4),对管道系统进行抽真空;(二)开启连通第一机械泵(3)、第二机械泵(4)与扩散泵(5)的第三三通阀(12),由第一机械泵(3)、第二机械泵(4)将扩散泵(5)内的杂气排出管道系统,开启与扩散泵(5)连接的水泵(8),开启扩散泵的电炉(6);(三)开启连通第一容器(1)与大气的第一单向阀(15),向第一容器(1)内充入大气,将待加工的热丝灯管依次连接于第一容器(1)上,进行搭丝,之后关闭第一单向阀(15);(四)关闭第三三通阀(12),将连通第一容器(1)与第一机械泵(3)的第一三通阀(10)旋转90度,用第一机械泵(3)对第一容器(1)进行抽真空,使第一容器(1)内的真空度达到10-2~10-1Pa,获得预真空状态;(五)将烤箱推置于第一容器(1)上,加温至450℃,烘烤12~15分钟;(六)在对第一容器(1)进行烘烤的同时,开启连通第二容器(2)与大气的第二单向阀(16),向第二容器(2)内充入大气,将待加工的热丝灯管依次连接于第二容器(2)上,进行搭丝,之后关闭第二单向阀(16);(七)将连通第二容器(2)与第二机械泵(4)的第二三通阀(11)旋转90度,用第二机械泵(4)对第二容器(2)进行抽真空,使第二容器(2)内的真空度达到10-2~10-1Pa,获得预真空状态;(八)将烤箱推置于第二容器(2)上,加温至450℃,烘烤12~15分钟;(九)开启第三三通阀(12),用扩散泵(5)、第一机械泵(3)、第二机械泵(4)对第一容器(1)、第二容器(2)进行抽真空,使容器内的真空度达到10-3~10-4Pa;(十)将第一容器(1)、第二容器(2)上的热丝灯管通电,先通电预热灯丝,再通电加热灯丝,分解激活阴极;(十一)关闭第三三通阀(12),使第一三通阀(10)、第二三通阀(11)处于开启状态,使连接在氩气源、氖气源远端的第四三通阀(13)处于关闭状态,将连接在氩气源、氖气源近端的第五三通阀(14)旋转45度并迅速关闭,再开启第四三通阀(13),向第一容器(1)、第二容器(2)的热丝灯管内充入10~15托的氩气或氖气,进行气体充洗,排除热丝灯管内残留的杂质气体,随后迅速关闭;(十二)开启第三三通阀(12),对第一容器(1)、第二容器(2)进行抽真空;(十三)接通热丝灯的电源,使第一容器(1)、第二容器(2)上的热丝灯管辉光闪亮;(十四)关闭第一三通阀(10)、第二三通阀(11),将第五三通阀(14)旋转45度,随后关闭,再开启第四三通阀(13),向第一容器(1)、第二容器(2)