一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102978707A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102978707A(43)申请公布日2013.03.20(21)申请号201210490555.X(22)申请日2012.11.28(71)申请人浙江鸿禧光伏科技股份有限公司地址314206浙江省嘉兴市平湖市新仓镇童车路(72)发明人冯晨方智王庆钱(51)Int.Cl.C30B31/06(2006.01)C30B31/12(2006.01)C30B31/16(2006.01)权利要求书权利要求书11页页说明书说明书22页页(54)发明名称一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法(57)摘要本发明公开了一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其方法是依次经过升温、正常通源、停止通源、重复正常通源和停止通源过程三至五次和降温过程，使整体通源工艺时间保持与原有工艺一致，达到预期的饱和效果。本发明的有益效果是有效解决尾气管堵塞的问题，同时解决了扩散尾气管堵塞后造成炉管内部压力过大，出现炸裂、气体外泄等危险，且同样达到预处理的饱和效果。CN102978ACN102978707A权利要求书1/1页1.一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其特征是：该处理方法依次经过升温、正常通源、停止通源、重复正常通源和停止通源过程和降温过程，使整体通源工艺时间保持与原有工艺一致，达到预期的饱和效果。2.根据权利要求1所述的有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其特征是：升温过程中，温度升高至950±5℃，同时通入氧气和大氮，气体流量分别为800±100sccm和15±0.2L，升温过程需要的时间为17±2min。3.根据权利要求1所述的有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其特征是：温度升高至指定温度后进行正常通源，同时通入小氮和大氮，小氮的气体流量为1100～1500sccm，大氮的气体流量为5±0.2L，通源时间为18～24min。4.根据权利要求1所述的有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其特征是：停止通源过程中，同时通入氧气和氮气，氧气的气体流量为800±100sccm，氮气的整体气体流量为6.1～7.5L。5.根据权利要求1所述的有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其特征是：重复正常通源和停止通源的工艺过程三至五次，再直接持续通源。6.根据权利要求1所述的有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，其特征是：整体通源工艺时间保持与原有工艺一致，通源工艺时间为3～4h，达到饱和效果。2CN102978707A说明书1/2页一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池片制作技术领域，具体地说是一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法。背景技术[0002]对于新装机的扩散炉管或刚保养完的扩散炉管，都会先进行饱和工艺，再进行正常生产工艺。其目的是对石英炉管进行预处理，一是吹扫内部的杂质，二是饱和炉管。工艺过程中产生的废气，包括三氯氧磷、偏磷酸、五氧化二磷等，直接通过尾气管排出，使正常生产时不影响扩散。但是新炉管或刚保养完的炉管，尾气管没有预热，温度较低，废气会在刚出炉管进入尾气管处冷凝，尾气无法排除，造成堵塞现象。发明内容[0003]本发明要解决的问题是提供一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法，解决新炉管或刚保养完的炉管在使用初始阶段尾气管堵塞的问题。[0004]为了解决上述技术问题，本发明提供的技术解决方案为：第一步进行升温过程，温度升高至950±5℃，同时通入氧气和大氮，气体流量分别为800±100sccm和15±0.2L，升温过程需要的时间为17±2min；第二步温度升高至指定温度后进行正常通源，同时通入小氮和大氮，小氮的气体流量为1100～1500sccm，大氮的气体流量为5±0.2L，通源时间为18～24min，第三步停止通源，同时通入氧气和氮气，氧气的气体流量为800±100sccm，氮气的整体气体流量为6.1～7.5L；第四步重复第二和第三步的工艺过程三至五次，再直接持续通源，使整体通源工艺时间保持与原有工艺一致，通源工艺时间为3～4h，达到饱和效果。[0005]本发明的有益效果是有效解决尾气管堵塞的问题，同时解决了扩散尾气管堵塞后造成炉管内部压力过大，出现炸裂、气体外泄等危险，且同样达到预处理的饱和效果。具体实施方式[0006]下面对本发明的技术方案作进一步详细说明。[0007]本实施方式中有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理工艺过程如下：1.首先对扩散炉进行升温，温度升至950℃，升温时间为17min，通入的氧气的气体流量为850sccm，大氮的气体流量为15L。[0008]2.对扩散炉管进行正常通源，同时通入小氮的气体流量为1200sccm，大氮的气体流量为5L，通源时间为20min。