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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102995110A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102995110A(43)申请公布日2013.03.27(21)申请号201110275943.1(22)申请日2011.09.16(71)申请人镇江仁德新能源科技有限公司地址212200江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路998号(72)发明人孟涛闫永兵(74)专利代理机构北京金信立方知识产权代理有限公司11225代理人黄威郭迎侠(51)Int.Cl.C30B15/10(2006.01)C30B35/00(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图11页(54)发明名称单晶体生产的装料方法及预装料坩埚(57)摘要本发明公开了一种单晶体生产的装料方法,包括:向置于单晶炉外的石英坩埚装料;在已装好料的石英坩埚上加盖一与所述石英坩埚紧密扣合的预装料盖;使用吊车勾吊预装料盖以使石英坩埚提起,再放入单晶炉热场的石墨坩埚中;使所述预装料盖和所述石英坩埚脱离,再由吊车吊走预装料盖,完成单晶体生产的装料。采用本发明的单晶体生产的装料方法,节省了单晶炉的有效利用时间,降低了因为装料不规范而造成挂边、搭桥等事故的发生。本发明还涉及用于单晶体生产的装料方法的预装料坩埚。CN10295ACN102995110A权利要求书1/1页1.一种单晶体生产的装料方法,其特征在于,包括:步骤一,向置于单晶炉外的石英坩埚装料;步骤二,在已装好料的所述石英坩埚上加盖一与所述石英坩埚紧密扣合的便于吊车勾吊的预装料盖;步骤三,使用吊车勾吊所述预装料盖以使与所述预装料盖扣合的所述石英坩埚缓慢提起,将所述石英坩埚放入单晶炉热场的石墨坩埚中;使所述预装料盖和所述石英坩埚脱离,再由吊车吊走所述预装料盖,完成单晶体生产的装料。2.如权利要求1所述的单晶体生产的装料方法,其特征在于,所述预装料盖上设置有一与真空泵相连的阀门;在所述步骤二中,打开所述真空泵,并缓慢打开所述阀门,对所述石英坩埚内进行抽真空,直至达到所述预装料盖在吊运过程中能始终压紧在所述石英坩埚上的压力后关闭所述阀门并移去所述真空泵;在所述步骤三中,将所述石英坩埚放入单晶炉热场的石墨坩埚中后打开所述阀门,使大气缓慢进入所述石英坩埚,当所述石英坩埚的压力与大气压平衡后,所述预装料盖和所述石英坩埚脱离后吊走所述预装料盖。3.如权利要求2所述的单晶体生产的装料方法,其特征在于,在所述步骤二中,当所述石英坩埚内的压力低于100Pa时,关闭所述阀门并移去所述真空泵。4.如权利要求1或2所述的单晶体生产的装料方法,其特征在于,所述预装料盖上设有便于吊车勾吊的挂钩。5.如权利要求2所述的单晶体生产的装料方法,其特征在于,所述预装料盖上还设置有用于在所述石英坩埚与所述预装料盖扣合后检测所述石英坩埚内气压的压力表。6.如权利要求2所述的单晶体生产的装料方法,其特征在于,所述预装料盖与所述石英坩埚在扣合时的接触面上设有一密封圈;所述密封圈的内径小于所述石英坩埚的内径,外径大于所述石英坩埚的外径。7.一种用于单晶体生产的装料方法的预装料坩埚,其特征在于,包括石英坩埚和与所述石英坩埚扣合以便于吊车勾吊的预装料盖,所述预装料盖上设置有一阀门,所述阀门与一在所述阀门打开时抽出所述石英坩埚内气体以使所述预装料盖与所述石英坩埚扣紧的真空泵连接。8.如权利要求7所述的预装料坩埚,其特征在于,所述预装料盖上设有便于吊车勾吊的挂钩。9.如权利要求7所述的预装料坩埚,其特征在于,所述预装料盖上还设置有用于在所述石英坩埚与盖上所述预装料盖后检测所述石英坩埚内气压的压力表。10.如权利要求7所述的预装料坩埚,其特征在于,所述预装料盖与所述石英坩埚在扣紧时的接触面上设有一密封圈;所述密封圈的内径小于所述石英坩埚的内径,外径大于所述石英坩埚的外径。2CN102995110A说明书1/3页单晶体生产的装料方法及预装料坩埚技术领域[0001]本发明涉及一种单晶体装料方法,具体来说涉及一种在单晶炉外进行装料的单晶体生产的装料方法。本发明还涉及一种用于单晶体生产的预装料坩埚。背景技术[0002]电子级及太阳能级硅单晶体直拉法生产过程中,装料是很关键的过程。现有技术的做法是将空的石英坩埚先放在单晶炉热场内的石墨坩埚中,再把多晶硅料逐次装入石英坩埚中。因为装料过程需要很仔细,因此一般装料在一个小时左右。发明人发现,将石英坩埚放在单晶炉内装料,这样既浪费单晶炉的有效利用时间,又容易在短暂的装料时间内,发生装料不规范造成挂边、搭桥的事故。同时单晶车间内部其他车间的拆炉、清理工作容易造成对材料的污染。另外,现有技术的工艺及设备条件也并不适合在单晶炉外进行预装料操作,因为当多晶硅料装入石英坩埚后,会非常重,一般都在100KG以上,且石英坩埚比较脆,壁