多晶铸锭炉石墨坩埚组件.pdf
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多晶铸锭炉石墨坩埚组件.pdf
本发明公开了多晶铸锭炉石墨坩埚组件,包括石墨坩埚本体,所述石墨坩埚本体的外部设有加热装置,所述石墨坩埚本体由底板和侧板组成,其特征是:所述底板为网络状滤网结构。本发明的优点是:结构合理、实用性强。
多晶硅铸锭炉用坩埚组件.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉用坩埚组件,包括:石英坩埚和设置在石英坩埚外侧的石墨坩埚,所述石墨坩埚包括底板和底板四周的侧板,所述底板具有网状结构,所述石墨坩埚外侧下部设有保温层,所述保温层外侧设置有薄板。通过上述方式,本发明能够在硅液从石英坩埚任何裂缝处溢出时,及时引导硅液的流向,从而能及时报警,另外通过增强石墨坩埚下部保温效果,还能有效地提高多晶硅铸锭炉多晶硅锭成晶率和内在品质,结构设计合理。
多晶铸锭炉的石墨底盘及多晶铸锭炉.pdf
本发明公开了一种多晶铸锭炉的石墨底盘,石墨底盘上设置供气流进入的进气口,所述石墨底盘内围绕所述进气口设置多个与所述进气口连通的气室,各所述气室中设置多个用于对进入所述气室中的气流进行导流的导流部件;本发明的多晶铸锭炉的石墨底盘,在石墨底盘的进气口周围形成温度始终较低的气室,便于长晶初期形成中部微凸的生长界面,然后通过来回曲折迂回设置的布满石墨底盘周边的气道,使冷却气体充分换热,提升了多晶硅铸锭的质量,便于调节晶相结构,结构简单,易于实施,制造成本低廉,易于推广。
铸锭多晶炉底坩埚护板.pdf
本发明涉及一种铸锭多晶炉底坩埚护板,一块带有圆形或多边形凸起的是石墨板。在多晶铸锭过程中,石英坩埚放置在本发明涉的具有凸起的石墨板上,使得石英坩埚底部与石墨板的接触区域由平面变为分散的“点域”接触。从而使石英坩埚与底护板之间的传热由平面变为点点加强的区域接触。在石英坩埚底部形成一个个与凸起中心相对应的冷点,为多晶铸锭结晶初始阶段提供结晶点。从而减少铸锭多晶硅结晶初期的形核数量,并且在形核后沿石英坩埚横向长大,铺满坩埚底部后再竖直生长,在多晶铸锭中形成比较大的柱状晶。减少铸锭多晶硅中的晶界含量,从而降低铸锭
用于多晶硅铸锭的石英坩埚、铸锭炉及多晶硅铸锭方法.pdf
本申请公开了一种用于多晶硅铸锭的石英坩埚,由坩埚埚底和环绕连接在所述坩埚埚底的上表面边缘的坩埚主体组成,所述坩埚埚底的上表面形状为八边形,且所述八边形的每个内角均为135°。本申请中的石英坩埚由上表面形状为八边形的坩埚埚底以及环绕连接在坩埚埚底边缘的坩埚主体组成,并且八边形的每个内角均为135°,即石英坩埚横截面形状为每个内角均为135°的八边形,液相硅与本申请的石英坩埚内壁的接触面积小于横截面形状为四边形的石英坩埚,从而减少进入硅锭的杂质数量,提高硅锭的纯度,进而提高硅锭切片后硅片的光电转换效率,也即提