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一种磷扩散炉抽风管装置.pdf
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本发明公开了一种磷扩散炉抽风管装置，包括抽风管与密封水箱，该抽风管为U形管，抽风管一端设置进风口，抽风管另一端设有出风口并连接抽风机，抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层，抽风管底部开口并设有缩口结构；该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，密封箱体底部侧面设有进水口，密封箱体正对进水口的侧面在进水口上方设有溢流排水口，缩口结构插入张口结构密封并固定。本发明利用雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气，防止熔化抽风管的特氟龙涂层，同时使三氯氧磷在抽风管内迅速液化，而在抽
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磷扩散炉抽风管.pdf
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本发明公开了一种磷扩散炉抽风管缓冲箱，包括方形的缓冲箱体，所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口，所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门，所述密封门右侧与缓冲箱体铰接，所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构，所述密封门上设有导流结构，所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口。本发明的缓冲箱密封门上设有导流结构引导空气进入，因而，可以利用自然空气冷却扩散炉管中排除的尾气，防止熔化抽风管的特氟龙涂层。从而降低了抽风系统的腐蚀速度，避免了气化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的发生。
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