磷扩散炉抽风管密封水箱.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103103618A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103103618103103618A(43)申请公布日2013.05.15(21)申请号201310018305.0(22)申请日2013.01.17(71)申请人陈功地址313100浙江省湖州市长兴县县前东街1299号(72)发明人陈功(74)专利代理机构杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙)33217代理人胡根良(51)Int.Cl.C30B31/16(2006.01)H01L21/223(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图4页附图4页(54)发明名称磷扩散炉抽风管密封水箱(57)摘要本发明公开了一种磷扩散炉抽风管密封水箱，包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，所述张口结构内壁安装一圈密封圈，上方敞口上边沿外侧安装有固定扣，密封箱体底部侧面设有进水口，密封箱体正对进水口的侧面在进水口上方设有溢流排水口。由于抽风管底部开口并连接一密封水箱，在抽风管内迅速液化的三氯氧磷液体落进了密封水箱，并在密封水箱内进行中和无害化处理，最后从密封水箱的溢流口排水口排出，进入废水处理系统，从而降低了抽风系统的腐蚀速度，避免了气化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的发生。CN103103618ACN10368ACN103103618A权利要求书1/1页1.磷扩散炉抽风管密封水箱，其特征在于：包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，所述张口结构内壁安装一圈密封圈，上方敞口上边沿外侧安装有固定扣，密封箱体底部侧面设有进水口，密封箱体正对进水口的侧面在进水口上方设有溢流排水口。2.根据权利要求1所述的磷扩散炉抽风管密封水箱，其特征在于：所述密封水箱为不锈钢结构，密封水箱内壁设有特氟龙涂层。3.根据权利要求2所述的磷扩散炉抽风管密封水箱，其特征在于：所述特氟龙涂层的喷涂厚度为0.2-10mm。4.根据权利要求1所述的磷扩散炉抽风管密封水箱，其特征在于：所述密封水箱进水口通过管道与冷却罐连接，所述冷却罐内盛装有碳酸氢钠冷却溶液，冷却罐内设有冷却盘管，所述冷却罐底部设有排放阀。5.根据权利要求4所述的磷扩散炉抽风管密封水箱，其特征在于：所述溢流排水口通过管道连接废水处理系统。2CN103103618A说明书1/4页磷扩散炉抽风管密封水箱技术领域[0001]本发明涉及半导体分立器件和太阳能电池片的制造领域。背景技术[0002]磷扩散是半导体分立器件、集成电路芯片和太阳能电池片制作PN结所必须的一道工艺，目前这道工艺所采用的技术是热扩散技术。半导体分立器件主要用于制造二极管、三极管、功率器件、IGBT及晶闸管等，该系列产品在国内有上百亿的销售额，产能非常庞大。另一方面作为太阳能电池片的用途，硅片运用也非常广泛，全球70%以上的太阳能电池片是使用硅片作为电池片的。2011年已经实现25GW的产能，多晶用量达到18万吨是半导体用量的6倍，因此太阳能的产量比半导体产量更大。国内能够生产太阳能电池硅片厂家约120多家，而能够生产半导体分立器件扩散片的厂家也达到几十家。用于磷扩散的扩散炉每个厂家基本有几十台到上百台，市场需求量很大。[0003]目前市场上技术成熟的磷扩散技术主要有三种：1、采用液态三氯氧磷源扩散；2、采用喷涂磷酸水溶液后链式扩散；3、采用磷源纸夹层后链式扩散。这三种磷扩散的方法以液态磷源扩散的方法具有生产效率较高，得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好等优点，因此运用范围最广，生产厂家普遍采用该方法进行大批量生产。磷扩散方法的结构图如图1所示，[0004]磷扩散的化学反应方程式如下：[0005][0006]生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下：[0007]2P2O5+5Si＝5SiO2+4P↓[0008]为了三氯氧磷能够充分反应必须在石英管内通入氮气的同时充入一定比例的氧气，三氯氧磷才能与硅充分反应，在硅表面形成一层磷——硅玻璃，磷向硅内扩散。[0009]携带有三氯氧磷的气体在通过高温的扩散炉管后并不能完全与硅反应，相当一部分未反应的三氯氧磷气体被排出炉管。而三氯氧磷具有以下的化学、物理性质：无色澄清液体。有刺激性气味。强烈发烟。有吸湿性。遇水和乙醇分解发热。相对密度(d25)1.645。熔点1.25℃。沸点105.8℃。中等毒，半数致死量(大鼠，经口)380mg/kg。有催泪性和腐蚀性。因此未反应的三氯氧磷不能任其扩散在空气中，需要将这些残留三氯氧磷抽走，否则对操作人员危害巨大。现有的扩散炉一般都在石英管出口处安装了抽风口将三氯氧磷抽离。这些抽风装置一般采用不锈钢或者铁皮制作，但是三氯氧磷的