蓝宝石衬底材料的退火工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103177972A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103177972103177972A(43)申请公布日2013.06.26(21)申请号201110432004.3(22)申请日2011.12.21(71)申请人张卫兴地址210003江苏省南京市南瑞路紫竹苑1-2号(72)发明人张卫兴(74)专利代理机构南京众联专利代理有限公司32206代理人顾进(51)Int.Cl.H01L21/477(2006.01)H01L33/00(2010.01)权利要求书1页权利要求书1页说明书4页说明书4页(54)发明名称蓝宝石衬底材料的退火工艺(57)摘要本发明公开了一种标准化的蓝宝石衬底材料的退火工艺。包括以下步骤：A将蓝宝石衬底材料放入电加热炉；B第一次升温：电加热炉升温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；C第二次升温：电加热炉升温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；D第三次升温：电加热炉升温至960℃~1550℃，恒温60~240分钟；E第一次降温：电加热炉降温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；F第二次降温：电加热炉降温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；G第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却。采用本发明提供的技术方案，能生产出符合行业标准的蓝宝石衬底材料，且大幅提高成品率。CN103177972ACN103792ACN103177972A权利要求书1/1页1.一种蓝宝石衬底材料的退火工艺，包括以下步骤：A将蓝宝石衬底材料放入电加热炉；B第一次升温：电加热炉升温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；C第二次升温：电加热炉升温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；D第三次升温：电加热炉升温至960℃~1550℃，恒温60~240分钟；E第一次降温：电加热炉降温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；F第二次降温：电加热炉降温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；G第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却。2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底材料的退火工艺，其特征在于：所述步骤A中蓝宝石衬底材料为需要进行单面加工的材料；所述步骤D为，电加热炉升温至1200℃~1550℃，恒温60~240分钟。3.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底材料的退火工艺，其特征在于：所述步骤D为，电加热炉升温至1200℃~1450℃，恒温90~180分钟。4.根据权利要求1中任意一项所述的蓝宝石衬底材料的退火工艺，其特征在于：所述步骤A中蓝宝石衬底材料为需要进行双面加工的材料；所述步骤D为，电加热炉升温至960℃~1200℃，恒温60~240分钟。5.根据权利要求4中任意一项所述的蓝宝石衬底材料的退火工艺，其特征在于：所述步骤A中蓝宝石衬底材料为需要进行双面加工的材料；所述步骤D为，电加热炉升温至1020℃~1180℃，恒温90~180分钟。6.根据权利要求1~5中任意一项所述的蓝宝石衬底材料的退火工艺，其特征在于:所述步骤B、C、D中，升温速率为每5分钟升高1℃。7.根据权利要求1~5中任意一项所述的蓝宝石衬底材料的退火工艺，其特征在于:所述步骤E、F、G中，降温速率为每5分钟降低1℃。8.根据权利要求1~5所述的蓝宝石衬底材料的退火工艺，其特征在于:所述步骤A中所述蓝宝石衬底材料在电加热炉中竖放并加以固定。9.根据权利要求1~5中任意一项所述的蓝宝石衬底材料的退火工艺，其特征在于在退火步骤之前还包括以下步骤：A1用酸性清洗液对蓝宝石衬底材料进行清洗；A2对蓝宝石衬底材料进行脱水、烘干。2CN103177972A说明书1/4页蓝宝石衬底材料的退火工艺技术领域[0001]本发明涉及一种蓝宝石衬底材料的退火工艺。背景技术[0002]目前，国内的LED行业非常火爆，LED衬底材料一般有蓝宝石衬底、碳化硅衬底及硅衬底三种，其中蓝宝石衬底应用最广泛，因为其加工方法以及加工成本等与其他两种相比较都有不小的优势。因此蓝宝石衬底材料的加工是LED全产业链中非常重要的一环，成熟的生产技术显得尤为关键。但技术壁垒的存在加上市场的高度不成熟，形成了信息的蔽塞，使得业内缺乏蓝宝石衬底材料加工工艺尤其是退火环节的标准化工艺流程，导致业内蓝宝石衬底材料次品率高，生产效率偏低。发明内容[0003]本发明的目的是提供一种标准化的蓝宝石衬底材料的退火工艺，填补了行业空白。采用本退火工艺制造出得蓝宝石衬底材料，成品率高，各方面参数完全能够满足甚至优于行业标准。[0004]为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案：一种蓝宝石衬底材料的退火工艺，包括以下步骤：A将蓝宝石衬底材料放入电加热炉；B第一次升温：电加热炉升温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；C第二次升温：电加热炉升温至70