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多晶硅铸锭的制备方法.pdf
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多晶硅铸锭的制备方法.pdf
本发明揭示了一种多晶硅铸锭的制备方法，该方法包括以下步骤：S1、提供一坩埚，并在坩埚内壁上第一区域内涂覆氮化硅涂层，在坩埚内壁上位于第一区域上方的第二区域内不进行氮化硅涂层的涂覆；S2、在上述坩埚涂有氮化硅涂层的第一区域内放置多晶硅料，然后提供一具有镀层的盖板盖在坩埚上；S3、将装有多晶硅料的坩埚放置于一定向凝固铸锭炉中抽真空，然后加热使所述多晶硅料熔化进入长晶阶段；S4、进入长晶阶段后调节控温热电偶的温度和侧部隔热笼向上移动的速率，使热量向下辐射而使熔硅在竖直向上的温度梯度下自下向上生长；S5、待所述熔
2023-06-19
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多晶硅铸锭的制备方法.pdf
本发明揭示了一种多晶硅铸锭的制备方法，该方法包括以下步骤：S1、制备均匀分散有颗粒硅及石英砂的浆料；S2、将所述浆料倒入坩埚内，在预定温度烘干后，烧结制得颗粒硅形核层；S3、在所述坩埚内加入多晶硅料，并将该装有多晶硅料的坩埚放置于一定向凝固铸锭炉中抽真空，并加热使所述多晶硅料融化进入长晶阶段；S4、进入长晶阶段后调节控温电偶的温度和侧部隔热笼向上移动的速率，使热量向下辐射而使熔融硅在所述颗粒硅形核层上形核结晶；S5、待所述熔融硅结晶完后经退火和冷却形成多晶硅铸锭，本发明提供的多晶硅铸锭的制备方法成本较低，
2023-06-19
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多晶硅铸锭炉与制备均匀细小晶粒多晶硅铸锭的方法.pdf
本发明提供了一种多晶硅铸锭炉和利用所述多晶硅铸锭炉制备多晶硅铸锭的方法。本发明中所述多晶硅铸锭炉包括隔热笼提升机构、上炉体、隔热笼、坩埚组件、定向助凝块、下炉体、支撑柱和超声波发生器，所述超声波发生器设置于下炉体外壁的底部，或所述超声波发生器设置于上炉体外壁的侧面。本发明在生产多晶硅铸锭的过程中，在多晶硅熔体达到临界形核状态时开启超声波发生器，并1min～20min后关闭超声波发生器，本发明通过在多晶硅形核初期引入机械振荡，从而有利于形成晶粒均匀细小的多晶硅铸锭。
2023-06-19
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本发明涉及一种多晶硅铸锭的制备方法，该方法包括以下步骤：(1)在去离子水中加入粘结剂、分散剂和纯度大于99.9％、粒径为1～5000μm的硅颗粒，搅拌均匀得到浆料，其中硅颗粒占浆料的质量百分数不低于50％；(2)在内表面设有氮化硅涂层的石英坩埚内，将所述浆料喷涂、辊涂或刷涂在氮化硅涂层表面，形成1～10mm的浆料层，干燥得到硅涂层坩埚；(3)将所述硅涂层坩埚装上硅料，送入多晶硅铸锭炉，经抽真空后，对硅料加热，硅料全部熔化后，使硅料熔液降温进行多晶硅生长，多晶硅生长完成后，经退火冷却得到多晶硅铸锭。将本发明
2023-06-19
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多晶硅铸锭炉和多晶硅铸锭方法.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉，炉体包括上炉盖、炉身和炉底，炉底和炉身采用液压连接；所述保温体为立方形，保温体包括上保温体和下保温体；石墨平台位于保温体中，四个坩埚放置于石墨平台上；上加热体和下加热体都位于所述保温体中，且上加热体位于上保温体的顶面下方、下加热体位于石墨平台下方，上加热体和上保温体固定在一起并固定于炉身上，下加热体和下保温体固定在一起并能一起和上保温体分开并向下移动。本发明还公开了一种多晶硅铸锭方法。本发明能成倍地提高单个铸锭炉产量、并能保证质量良好，能提高现有设备的使用率并能节省设备投资成
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