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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103572196103572196A(43)申请公布日2014.02.12(21)申请号201210279237.9(22)申请日2012.08.08(71)申请人樊伟地址225300江苏省泰州市高港区港口东路93-1号(72)发明人樊伟常建艮陆余圣(51)Int.Cl.C23C8/10(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图1页附图1页(54)发明名称一种杜美丝微波加热生产系统(57)摘要本发明公开了一种杜美丝微波加热生产系统,包括送丝装置、微波烧结炉、微波氧化炉、过丝装置和收丝装置,送丝装置依次送丝连接微波氧化炉和微波烧结炉,微波烧结炉收丝连接收丝装置;所述微波烧结炉和微波氧化炉的微波发生器均由过丝装置上过丝状态控制呈启闭状态。通过控制杜美丝材料送丝速度、加热温度、氧化温度确保无CuO、高纯度、纳米级Cu2O的快速生成,配合压丝装置实现空载停机保护,实现全程数字化控制,具有结构简单、性能可靠、操作方便,能源利用率高,使用成本低等优点,该系统制备的杜美丝材料外层无CuO生成,在后续铂玻璃熔封时无色差、无气泡,质量性能高。CN103572196ACN10357296ACN103572196A权利要求书1/1页1.一种杜美丝微波加热生产系统,其特征在于:包括送丝装置、微波氧化炉、微波烧结炉、过丝装置和收丝装置,送丝装置依次送丝连接微波氧化炉和微波烧结炉,微波烧结炉收丝连接收丝装置;所述微波烧结炉和微波氧化炉的微波发生器均由过丝装置上过丝状态控制呈启闭状态。2.根据权利要求1所述的一种杜美丝微波加热生产系统,其特征在于:所述送丝装置包括一只以上的送丝盘、送丝控制器和送丝电源,送丝电源经送丝控制器控制连接一只以上的送丝盘送丝连接微波氧化炉。3.根据权利要求1所述的一种杜美丝微波加热生产系统,其特征在于:所述微波氧化炉包括氧化炉外壳、氧化炉金属内胆腔、氧化陶瓷管和氧化微波发生器,氧化炉金属内胆腔设置于氧化炉外壳内,氧化陶瓷管穿接于氧化炉金属内胆腔内,氧化微波发生器对应氧化陶瓷管设置于氧化炉金属内胆腔内,送丝装置送丝穿过氧化陶瓷管连接至微波烧结装置。4.根据权利要求1所述的一种杜美丝微波加热生产系统,其特征在于:所述微波烧结炉包括烧结炉外壳、烧结炉金属内胆腔、陶瓷管和烧结微波发生器,烧结炉金属内胆腔设置于烧结炉外壳内,烧结陶瓷管穿接于烧结炉金属内胆腔内,烧结微波发生器对应烧结陶瓷管设置于烧结炉金属内胆腔内,微波氧化炉送丝穿过烧结陶瓷管连接至过丝装置。5.根据权利要求1所述的一种杜美丝微波加热生产系统,其特征在于:所述过丝装置包括一压丝轮、两导向轮、活塞、缸套、弹簧和接近开关,烧结陶瓷管依次经一导向轮、压丝轮和另一导向轮送丝连接收丝装置,压丝轮铰接于活塞上,送丝经压丝轮两侧的导向轮压合在压丝轮上使活塞经弹簧在缸套内呈上下活动状态,弹簧上下活动使弹簧底端的接近开关呈接通启动或断开关闭微波烧结炉和微波氧化炉的微波发生器状态。6.根据权利要求1所述的一种杜美丝微波加热生产系统,其特征在于:所述收丝装置包括一只以上的收丝盘和对应收丝盘设置的定速轮,收丝盘连接收丝电机,定速轮连接定速电机。7.根据权利要求3所述的一种杜美丝微波加热生产系统,其特征在于:所述微波氧化炉内设有对应氧化陶瓷管内送丝的氧化红外温度测量测控仪。8.根据权利要求3或7所述的一种杜美丝微波加热生产系统,其特征在于:所述微波氧化炉内设有带数字气体流量控制阀的保护气送气管。9.根据权利要求4所述的一种杜美丝微波加热生产系统,其特征在于:所述微波烧结炉内设有对应烧结陶瓷管内送丝的烧结红外温度测量测控仪。2CN103572196A说明书1/4页一种杜美丝微波加热生产系统技术领域[0001]本发明涉及一种杜美丝制造系统,具体说是一种利用微波加热氧化、烧结使铁镍合金镀铜层杜美丝快速生成Cu2O层面的杜美丝微波加热生产系统。背景技术[0002]普通红色、黄色、无硼杜美丝,在生成Cu2O过程时都是在H2或液化石油气环境场合中采用普通工频电炉加热至800-1380℃度。这一慢加热的时间过程,极易影响成品杜美丝的气密性和保存条件以及表面色差。此后再经涂硼后烧结成保护Cu2O层面,对半导体器件用杜美丝还存在钠离子沾污,从而形成杜美丝产品供于光、电源市场。[0003]现有专利号为00112365.3公开的一种黄色杜美丝的制备方法及装置,采用裸丝还原气氛下加热;复硼;加热氧化;快速冷却制备,其铁镍合金芯金属镀铜层慢速温度氧化,里层生成Cu2O,最外层则生成CuO。红色Cu2O能熔于玻璃,而黑色CuO不能熔于玻璃,生产杜美丝的过程中不能全部形成高纯度、纳米级的Cu2O层,则在与