一种杜美丝微波加热氧化炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103572198103572198A(43)申请公布日2014.02.12(21)申请号201210279239.8(22)申请日2012.08.08(71)申请人樊伟地址225300江苏省泰州市高港区港口东路93-1号(72)发明人樊伟常建艮陆余圣(51)Int.Cl.C23C8/10(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图2页附图2页(54)发明名称一种杜美丝微波加热氧化炉(57)摘要本发明公开了一种杜美丝微波加热氧化炉，所述微波氧化炉包括氧化炉外壳、氧化炉金属内胆腔、氧化陶瓷管和氧化微波发生器，氧化炉金属内胆腔设置于氧化炉外壳内，氧化陶瓷管穿接于氧化炉金属内胆腔内，氧化微波发生器对应氧化陶瓷管设置于氧化炉金属内胆腔内，裸丝穿过氧化陶瓷管。通过微波发生器对杜美丝材料进行快速加热氧化，确保无CuO、高纯度、纳米级Cu2O的快速生成，实现全程数字化控制，具有结构简单、性能可靠、操作方便，能源利用率高，使用成本低等优点，能有效确保杜美丝材料外层无CuO生成，在后续铂玻璃熔封时无色差、无气泡，质量性能高。CN103572198ACN10357298ACN103572198A权利要求书1/1页1.一种杜美丝微波加热氧化炉，其特征在于：所述微波氧化炉包括氧化炉外壳、氧化炉金属内胆腔、氧化陶瓷管和氧化微波发生器，氧化炉金属内胆腔设置于氧化炉外壳内，氧化陶瓷管穿接于氧化炉金属内胆腔内，氧化微波发生器对应氧化陶瓷管设置于氧化炉金属内胆腔内，裸丝穿过氧化陶瓷管。2.根据权利要求1所述的一种杜美丝微波加热氧化炉，其特征在于：所述微波氧化炉内设有对应氧化陶瓷管内送丝的氧化红外温度测量测控仪。3.根据权利要求1或2所述的一种杜美丝微波加热氧化炉，其特征在于：所述微波氧化炉内设有带数字气体流量控制阀的保护气送气管。2CN103572198A说明书1/3页一种杜美丝微波加热氧化炉技术领域[0001]本发明涉及一种杜美丝制造系统，具体说是一种利用微波加热氧化、烧结使铁镍合金镀铜层杜美丝快速生成Cu2O层面的杜美丝微波加热氧化炉。背景技术[0002]普通红色、黄色、无硼杜美丝，在生成Cu2O过程时都是在H2或液化石油气环境场合中采用普通工频电炉加热至800-1380℃度。这一慢加热的时间过程，极易影响成品杜美丝的气密性和保存条件以及表面色差。此后再经涂硼后烧结成保护Cu2O层面，对半导体器件用杜美丝还存在钠离子沾污，从而形成杜美丝产品供于光、电源市场。[0003]现有专利号为00112365.3公开的一种黄色杜美丝的制备方法及装置，采用裸丝还原气氛下加热；复硼；加热氧化；快速冷却制备，其铁镍合金芯金属镀铜层慢速温度氧化，里层生成Cu2O，最外层则生成CuO。红色Cu2O能熔于玻璃，而黑色CuO不能熔于玻璃，生产杜美丝的过程中不能全部形成高纯度、纳米级的Cu2O层，则在与铂组玻璃熔封过程中，残留在丝表面的少量CuO就不能熔于玻璃中，而熔封时CuO在高温下就会按下列方式：[0004][0005]转变成红色的Cu2O并释放出O2造成熔封在铂组玻璃中的杜美丝周围产生汽泡，从而影响气密性；另外，在送裸丝加热、还原时，如送丝出现故障或意外断丝时，易形成空载加热，造成能源浪费，使用性能不稳定。发明内容[0006]本发明的内容是针对现有慢加热技术生成Cu2O中存在的问题，提供了一种结构简单、性能可靠、操作方便，能源利用率高，使用成本低，外层无CuO生成的杜美丝微波加热氧化炉，应用于杜美丝生产线中使铁镍合金覆(镀)铜层快速生成高纯度、纳米级CU2O粒子。[0007]为了解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：一种杜美丝微波加热氧化炉，其特征在于：所述微波氧化炉包括氧化炉外壳、氧化炉金属内胆腔、氧化陶瓷管和氧化微波发生器，氧化炉金属内胆腔设置于氧化炉外壳内，氧化陶瓷管穿接于氧化炉金属内胆腔内，氧化微波发生器对应氧化陶瓷管设置于氧化炉金属内胆腔内，裸丝穿过氧化陶瓷管。[0008]进一步地，所述微波氧化炉内设有对应氧化陶瓷管内送丝的氧化红外温度测量测控仪。[0009]再进一步地，所述微波氧化炉内设有带数字气体流量控制阀的保护气送气管。[0010]裸丝向微波氧化炉送丝，穿过氧化陶瓷管，数字气体流量控制阀打开对氧化金属内胆腔送氢气或石油天然气保护，氧化微波发生器对氧化陶瓷管内裸丝在还原气氛下加热。采用以上技术方案，本发明的有益效果是：采用微波发生器对铁镍合金覆铜层裸丝加热，氧化、烧结，被加热裸丝温度升高均匀且迅速，有利于晶核同时生成，粒子之间的毛细作用有利于小粒子按照一定的排列方式彼此组装成一定的形状，同时水分子在电磁场下不断3CN103572198