高温加热炉绝热体.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103608499103608499A(43)申请公布日2014.02.26(21)申请号201280024487.6C30B11/00(2006.01)(22)申请日2012.03.07C30B9/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)(30)优先权数据C30B29/20(2006.01)13/069,0272011.03.22US(85)PCT国际申请进入国家阶段日2013.11.20(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2012/0280532012.03.07(87)PCT国际申请的公布数据WO2012/128949EN2012.09.27(71)申请人GTAT公司地址美国新罕布什尔州(72)发明人N·端木D·C·斯凯尔顿M·洛伊D·D·阮(74)专利代理机构北京戈程知识产权代理有限公司11314代理人程伟(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书7页说明书7页附图7页附图7页(54)发明名称高温加热炉绝热体(57)摘要本发明揭露一种高温加热炉，其包括具有至少一个成型的热电偶封装件端口的热区绝热体以降低温度测量的变化性。该成型的热电偶封装件端口具有在该绝热体中面向热区的开口，其大于在该绝热体的该炉壳侧上的该开口。本发明也揭露一种方法，用于在利用具有成型的热电偶封装件端口的绝热体的高温加热炉中制造晶锭。CN103608499ACN1036849ACN103608499A权利要求书1/2页1.一种加热炉，包括：炉壳；热区，其位于该炉壳内，该热区包含至少一个加热组件在该热区中；绝热体，其围绕该热区，具有面向该炉壳的炉壳侧以及面向该加热组件的加热组件侧；以及至少一个热电偶封装件，其插入穿过在该绝热体中的至少一个热电偶封装件端口，其中，该热电偶封装件端口的尺寸从该绝热体的该炉壳侧向该绝热体的该加热组件侧增加。2.根据权利要求1所述的加热炉，其中，该热电偶封装件端口包含在该绝热体的该加热组件侧上的开口以及在该绝热体的该炉壳侧上的开口，且其中，在该绝热体的该加热组件侧上的该开口大于在该绝热体的该炉壳侧上的该开口。3.根据权利要求2所述的加热炉，其中，该热电偶封装件端口是在该绝热体的该加热组件侧上埋头锥孔。4.根据权利要求3所述的加热炉，其中，该热电偶封装件端口是以至少60°的角度埋头锥孔。5.根据权利要求3所述的加热炉，其中，该热电偶封装件端口是以至少90°的角度埋头锥孔。6.根据权利要求3所述的加热炉，其中，该热电偶封装件端口是以约60°到约120°的角度埋头锥孔。7.根据权利要求3所述的加热炉，其中，该热电偶封装件端口是穿过至少一半的该绝热体而埋头锥孔。8.根据权利要求3所述的加热炉，其中，该热电偶封装件端口是穿过该绝热体而埋头锥孔。9.根据权利要求8所述的加热炉，其中，该绝热体进一步包含围绕该绝热体的该炉壳侧上的该开口的绝热体凸缘。10.根据权利要求9所述的加热炉，其中，该绝热体凸缘为该绝热体的至少约一半的厚度。11.根据权利要求2所述的加热炉，其中，该热电偶封装件端口是在该绝热体的该加热组件侧上埋头直孔。12.根据权利要求11所述的加热炉，其中，该热电偶封装件端口是穿过至少一半的该绝热体而埋头直孔。13.根据权利要求11所述的加热炉，其中，该热电偶封装件端口是以在该绝热体的该炉壳侧上的该热电偶封装件端口的直径的至少两倍的直径而埋头直孔。14.根据权利要求2所述的加热炉，其中，在该加热组件侧上的该开口为圆形、方形或多边形的形状。15.根据权利要求1所述的加热炉，其中，该绝热体包含顶面与侧面绝热板。16.根据权利要求15所述的加热炉，其中，该侧面绝热板配置成在垂直方向上相对于该坩锅移动。17.根据权利要求1所述的加热炉，进一步包括热交换器，其在该热区中用于控制热量抽取。2CN103608499A权利要求书2/2页18.根据权利要求1所述的加热炉，进一步包括坩锅，其位于该热区中的坩锅支撑块的顶面上，该坩锅配置成用以接收至少原料材料。19.根据权利要求18所述的加热炉，其中，该加热组件加热并熔化在该坩锅中的该原料材料以产生晶锭。20.根据权利要求18所述的加热炉，其中，该原料材料包含多晶硅。21.根据权利要求18所述的加热炉，其中，该原料材料包含氧化铝。22.根据权利要求21所述的加热炉，其中，该氧化铝进一步包含钛。23.根据权利要求19所述的加热炉，其中，该晶锭包含多晶硅。24.根据权利要求19所述的加热炉，其中，该晶锭包含单晶硅。25.根据权利要求19所述的加热炉，其中，该晶锭包含蓝宝石。26.一种绝热体，其围绕一加热炉的热区，其中：该绝热体具有炉壳侧以及