一种炉前清洗机加酸方法及其装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103658139103658139A(43)申请公布日2014.03.26(21)申请号201310616775.7(22)申请日2013.11.29(71)申请人合肥海润光伏科技有限公司地址230000安徽省合肥市新站综合开发实验区大禹路1288号(72)发明人汪俊(74)专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204代理人刘燕娇(51)Int.Cl.B08B13/00(2006.01)B08B3/08(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称一种炉前清洗机加酸方法及其装置(57)摘要本发明公开了一种炉前清洗机加酸装置及其方法，本发明通过改变加酸的方式，即从流量式改为液位式来提高酸的配液量的精准性，减小酸浓度配比误差，降低因清洗不净而造成的硅片烧焦、污染炉管和硅片工装夹具的风险，减少化学物品的浪费，提高其利用率，本发明应用广泛，可用于各类溶液配比。CN103658139ACN1036589ACN103658139A权利要求书1/1页1.一种炉前清洗机加酸装置，其特征在于：包括用于存储酸的恒压罐、高液位传感器、中液位传感器和清洗槽；所述高液位传感器和中液位传感器均位于恒压罐内部，且该恒压罐表面标有刻度，所述恒压罐与清洗槽通过加酸管道相连接。2.一种炉前清洗机加酸方法，其特征在于：包括以下步骤：a.调节高、中液位传感器之间的距离，使得清洗工艺所需酸的体积为中液位和高液位之间酸体积的整数倍；b.高液位传感器检测恒压罐内的液体是否到达高液位；如到达高液位，进行步骤c，如未达到高液位，进行步骤d；c.恒压罐通过加酸管道加酸至清洗槽，中液位传感器检测到恒压罐内的液体至中液位时，加酸停止，完成一次加酸；d.自动补酸至高液位再进行步骤c。3.根据权利要求2所述的一种炉前清洗机加酸方法，其特征在于：所述酸的配液量由加酸次数和单次加酸量共同控制。2CN103658139A说明书1/2页一种炉前清洗机加酸方法及其装置技术领域[0001]本发明涉及晶体硅太阳能超净车间炉前清洗机，特别涉及一种炉前清洗机加酸方法及其装置。背景技术[0002]目前，在太阳能电池片的生产过程中，为防止硅片在高温扩散时由于杂质产生烧焦，而影响硅片品质，所以硅片扩散前虚经炉前清洗机清洗，而炉前清洗机主要通过HCL，HF溶液清洗，用以去除硅片中的杂质和金属离子。为保证清洗效果，必须保证溶液的配比，酸多了易发生硅片被过多腐蚀，酸少了则会导致硅片清洗不净，清洗不净的硅片进入扩散炉后会引起自身及周围硅片的大面积烧焦，重则会污染扩散炉炉管。为了保证酸浓度的配比，必须确认加酸的量是一定的，传统补酸方式为：在酸液流速一定的情况下，通过控制阀门的开关时间和补液系数来控制加酸量，这种加酸方式很容易受到流速的影响，实际操作中，酸液流动的速度不可能是匀速的，此方法加酸，误差较大。[0003]故，需要一种新的技术方案以解决上述问题。发明内容[0004]针对上述现有技术存在的问题和不足，本发明的目的是提供一种炉前清洗机加酸方式及其装置，清洗机补酸准确，保证清洗工艺稳定且大大减少生产成本的浪费。[0005]为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案为一种炉前清洗机加酸装置，包括用于存储酸的恒压罐、高液位传感器、中液位传感器和清洗槽；所述高液位传感器和中液位传感器均位于恒压罐内部，且该恒压罐表面标有刻度，所述恒压罐与清洗槽通过加酸管道相连接。[0006]本发明采用的另一技术方案为一种炉前清洗机加酸方法，包括以下步骤：a.调节高、中液位传感器之间的距离，使得清洗工艺所需酸的体积为中液位和高液位之间酸体积的整数倍；b.高液位传感器检测恒压罐内的液体是否到达高液位；如到达高液位，进行步骤c，如未达到高液位，进行步骤d；c.恒压罐通过加酸管道加酸至清洗槽，中液位传感器检测到恒压罐内的液体至中液位时，加酸停止，完成一次加酸；d.自动补酸至高液位再进行步骤c。[0007]作为上述技术方案的进一步优化，其中酸的配液量由加酸次数和单次加酸量共同控制。[0008]本发明相比现有技术，其优点为本发明通过改变加酸的方式，即从流量式改为液位式来提高酸的配液量的精准性，减小酸浓度配比误差，降低因清洗不净而造成的硅片烧焦、污染炉管和硅片工装夹具的风险，减少化学物品的浪费，提高其利用率，本发明应用广泛，可用于各类溶液配比。3CN103658139A说明书2/2页附图说明[0009]图1为本发明的加酸装置结构示意图。具体实施方式[0010]如图1所示，本发明的加酸装置包括用于存储酸的恒压罐、高液位传感器、中液位传感器和清洗槽；高液位传感器和中液位传感器位于恒压罐内部，该恒压