多晶硅铸锭炉的坩埚护板及其使用方法.pdf
小忆****ng
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多晶硅铸锭炉的坩埚护板及其使用方法.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉的坩埚护板,坩埚护板由四片石墨护板连接而成并围成一个能够将坩埚包围的且呈长方体或正方体的内部空间结构;各石墨护板的第一侧设置有多个榫、第二侧设置有多个卯;相邻的石墨护板之间通过榫卯连接。本发明还公开了一种多晶硅铸锭炉的坩埚护板的使用方法。本发明能使护板的拆、装在操作上变得简单,且护板能反复使用,能提高生产效率、降低生产成本。
铸锭多晶炉底坩埚护板.pdf
本发明涉及一种铸锭多晶炉底坩埚护板,一块带有圆形或多边形凸起的是石墨板。在多晶铸锭过程中,石英坩埚放置在本发明涉的具有凸起的石墨板上,使得石英坩埚底部与石墨板的接触区域由平面变为分散的“点域”接触。从而使石英坩埚与底护板之间的传热由平面变为点点加强的区域接触。在石英坩埚底部形成一个个与凸起中心相对应的冷点,为多晶铸锭结晶初始阶段提供结晶点。从而减少铸锭多晶硅结晶初期的形核数量,并且在形核后沿石英坩埚横向长大,铺满坩埚底部后再竖直生长,在多晶铸锭中形成比较大的柱状晶。减少铸锭多晶硅中的晶界含量,从而降低铸锭
一种多晶硅铸锭炉及其坩埚.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,包括设于炉腔内的顶部加热器和侧面加热器,还包括设于炉腔内的中心加热器,以便对坩埚内的中部硅料进行加热。由于在多晶硅铸锭炉的炉腔中部安装有中心加热器,在顶部加热器和侧面加热器加热的同时,中心加热器也同时加热,可以快速提高坩埚内硅料的温度,同时缩短了坩埚内外侧硅料到中部硅料热传递的距离,减少了热传递时间,避免了因加热时间过长造成的能量损失。此外,中心加热器的设置还可以减小坩埚内中部硅料和外侧硅料的温度差,保证多晶硅铸锭的质量。本发明还公开了一种用于上述多晶硅铸锭炉的坩埚。
用于多晶硅铸锭的石英坩埚、铸锭炉及多晶硅铸锭方法.pdf
本申请公开了一种用于多晶硅铸锭的石英坩埚,由坩埚埚底和环绕连接在所述坩埚埚底的上表面边缘的坩埚主体组成,所述坩埚埚底的上表面形状为八边形,且所述八边形的每个内角均为135°。本申请中的石英坩埚由上表面形状为八边形的坩埚埚底以及环绕连接在坩埚埚底边缘的坩埚主体组成,并且八边形的每个内角均为135°,即石英坩埚横截面形状为每个内角均为135°的八边形,液相硅与本申请的石英坩埚内壁的接触面积小于横截面形状为四边形的石英坩埚,从而减少进入硅锭的杂质数量,提高硅锭的纯度,进而提高硅锭切片后硅片的光电转换效率,也即提
多晶硅铸锭炉用坩埚组件.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉用坩埚组件,包括:石英坩埚和设置在石英坩埚外侧的石墨坩埚,所述石墨坩埚包括底板和底板四周的侧板,所述底板具有网状结构,所述石墨坩埚外侧下部设有保温层,所述保温层外侧设置有薄板。通过上述方式,本发明能够在硅液从石英坩埚任何裂缝处溢出时,及时引导硅液的流向,从而能及时报警,另外通过增强石墨坩埚下部保温效果,还能有效地提高多晶硅铸锭炉多晶硅锭成晶率和内在品质,结构设计合理。