一种用于直拉式单晶炉的石墨坩埚.pdf

本发明涉及一种用于直拉式单晶炉的石墨坩埚，具有本体；所述本体呈筒状，由两瓣块体组成；所述本体内壁的块体与块体之间的接缝处涂覆有石墨涂层；所述石墨涂层由石墨粉和乙醇均匀混合而成，且石墨粉与乙醇的重量比为1:2.0～3.0。本发明使用寿命长，大大提高了生产效率。

2023-06-19

10

148KB

直拉式单晶炉中石墨坩埚.pdf

一种直拉式单晶炉中石墨坩埚，包括石墨坩埚本体（1），所述石墨坩埚本体（1）包括三瓣块体，石墨坩埚本体内壁的三瓣块体的接口处的弯曲部为“R”部，石墨坩埚本体内壁位于三瓣块体的接口处“R”部的位置具有石墨涂层（2），该石墨涂层（2）由石墨粉和乙醇均匀混合而成，且石墨粉与乙醇的重量比为1：2.0～3.0。本发明的优点是：使用寿命长，成本低廉，操作工艺简单、方便、效果好。

2023-06-20

10

308KB

直拉单晶炉石墨坩埚.pdf

本发明涉及一种直拉单晶炉石墨坩埚，包括石墨坩埚本体，在所述石墨坩埚本体的侧壁上设置有至少一个贯穿所述石墨坩埚本体壁厚的第一通孔，在每个所述第一通孔中插入一个石墨环，在所述石墨环的中心再开有贯穿的第二通孔。直拉单晶炉内的硅料在加热时产生的气体可以从第二通孔里跑出来，这样，就可以避免一氧化硅对石墨坩埚各瓣接缝处的侵蚀，而使接缝处变形，在石墨环因为长期有气体从中穿过而变形后，只需要将石墨环敲掉，重新换一个即可，此时，石墨坩埚还可以继续使用，可延长石墨坩埚的寿命一至两倍，大幅度降低生产成本。

2023-06-20

10

368KB

一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚.pdf

本发明公开了一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚，包括底座，所述底座顶部的中间位置处设置有单晶炉体，所述单晶炉体的顶部设置有单晶炉盖，所述单晶炉盖底部的一侧设置有安装仓，所述安装仓内部的底部设置有伺服电机，所述伺服电机的输出端设置有齿轮B，所述单晶炉体内部的中间位置处设置有坩埚，所述坩埚底部的中间位置或促设置有坩埚轴，且坩埚轴延伸至单晶炉体的外部并且贯穿底座的内部；本发明装置通过插杆、插孔、套筒A、安装块B、单晶炉盖、滑轨、铰接杆、插孔和坩埚的相互配合，可方便操作人员快速的对物料进行投放，同时还方便操作人员快速拆

2023-06-16

10

638KB

用于单晶炉的石墨坩埚.pdf

本发明公开了一种能够提高单晶硅纯度的用于单晶炉的石墨坩埚。该石墨坩埚，包括锅壁与锅底，所述锅壁上设置有多个沿壁厚方向贯穿锅壁的排渣孔。通过设置排渣孔，使得从石英坩埚毛面脱落的二氧化硅颗粒在高速惰性气体的裹带下，会直接从排渣孔中排出，然后从单晶炉炉体底部设置的抽气孔排出，能够有效防止脱落的二氧化硅颗粒沿着石英坩埚与石墨坩埚之间的缝隙向上冲出后掉落至石英坩埚内，进而避免最后生产出来的单晶硅存在二氧化硅的杂质颗粒，能够大大提高单晶硅的纯度，使其达到生产要求。将锅壁设置成整体式结构，可以减少二氧化硅颗粒对石墨坩埚

2023-06-20

10

1.2MB