一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111996585A(43)申请公布日2020.11.27(21)申请号202010685914.1(22)申请日2020.07.16(71)申请人大同新成新材料股份有限公司地址037002山西省大同市新荣区花园屯村(72)发明人武建军张培林柴利春张作文王志辉(74)专利代理机构太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)14119代理人杨凯连慧敏(51)Int.Cl.C30B15/02(2006.01)C30B15/30(2006.01)C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚(57)摘要本发明公开了一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚，包括底座，所述底座顶部的中间位置处设置有单晶炉体，所述单晶炉体的顶部设置有单晶炉盖，所述单晶炉盖底部的一侧设置有安装仓，所述安装仓内部的底部设置有伺服电机，所述伺服电机的输出端设置有齿轮B，所述单晶炉体内部的中间位置处设置有坩埚，所述坩埚底部的中间位置或促设置有坩埚轴，且坩埚轴延伸至单晶炉体的外部并且贯穿底座的内部；本发明装置通过插杆、插孔、套筒A、安装块B、单晶炉盖、滑轨、铰接杆、插孔和坩埚的相互配合，可方便操作人员快速的对物料进行投放，同时还方便操作人员快速拆除，从而增加该装置的便捷性。CN111996585ACN111996585A权利要求书1/1页1.一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶部的中间位置处设置有单晶炉体（3），所述单晶炉体（3）的顶部设置有单晶炉盖（19），所述单晶炉盖（19）底部的一侧设置有安装仓（17），所述安装仓（17）内部的底部设置有伺服电机（18），所述伺服电机（18）的输出端设置有齿轮B（16），所述单晶炉体（3）内部的中间位置处设置有坩埚（5），所述坩埚（5）底部的中间位置或促设置有坩埚轴（2），且坩埚轴（2）延伸至单晶炉体（3）的外部并且贯穿底座（1）的内部，所述单晶炉体（3）内部顶部的两侧对称设置有安装块A（9），两组所述安装块A（9）的正下方共同设置有导流筒（6），且导流筒（6）延伸至坩埚（5）的内部，两组所述安装块A（9）相互靠近的一侧皆铰接设置有铰接杆（10），两组所述铰接杆（10）相互靠近的一侧共同铰接有单晶棒B（24），且单晶棒B（24）贯穿导流筒（6）延伸至坩埚（5）的内部，所述单晶棒B（24）的顶部延伸至单晶炉盖（19）的内部并套设有单晶棒A（13），所述单晶棒A（13）的两侧对称设置有滑轨（11），两组所述滑轨（11）的内部皆设置有与其相互配合的滑块（12），且滑块（12）延伸至滑轨（11）的外侧，两组所述滑块（12）相互远离的一侧共同套设有齿轮A（14），所述齿轮A（14）的外侧套设有链条（15），且链条（15）与齿轮B（16）相互啮合，所述单晶炉盖（19）两侧的底部对称设置有安装块B（20），所述单晶炉体（3）两侧的顶部对称设置有安装板（23），两组所述安装板（23）的顶部皆设置有套筒B（22），两组所述套筒B（22）的内部皆设置有与其相互配合的套筒A（8），且套筒A（8）与安装块B（20）相互连接，所述套筒A（8）的底部和套筒B（22）的顶部皆设置有插孔（21），所述插孔（21）的内部设置有与其相互配合的插杆（7），且插杆（7）贯穿套筒A（8）延伸至套筒B（22）的外部，所述底座（1）底部的两侧铰接设置有铰接板（26），两组所述铰接板（26）相互靠近一侧的顶部铰接设置有伸缩杆（25），且伸缩杆（25）远离铰接板（26）的一侧与单晶炉体（3）相互铰接，两组所述伸缩杆（25）的外侧皆套设有弹簧（4），且弹簧（4）与单晶炉体（3）相互连接，所述单晶炉体（3）正面一端底部的中间位置处设置有控制面板（27），所述控制面板（27）通过导线与伺服电机（18）电连接。2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚，其特征在于：两组所述安装块B（20）相互远离的一侧皆设置有把手，且把手的外侧设置有防滑纹。3.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚，其特征在于：所述滑轨（11）内部的顶部设置有弹簧，所述滑轨（11）内部顶部的中间位置处设置有伸缩杆，且伸缩杆的输出端与滑块（12）的顶部相互连接。4.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚，其特征在于：所述单晶棒B（24）顶部的外侧设置有螺纹，所述单晶棒A（13）的内部设置有内螺纹，且螺纹与内螺纹相互适配。5.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚，其特征在于：所述单晶炉体（3）的背面一端设置有仓门，且仓门的正面一端设置有把手。6.根据权利要求1所述的一种直拉