从ITO靶废料回收铟-锡合金的方法、氧化铟-氧化锡粉末的制造、及ITO靶的制造方法.pdf
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相关资料
从ITO靶废料回收铟-锡合金的方法、氧化铟-氧化锡粉末的制造、及ITO靶的制造方法.pdf
本发明提供如下方法:在还原炉内利用还原气体对含有铟和锡的ITO靶废料进行还原,并在保持ITO中的金属成分的组成比的状态下回收作为ITO靶的原料的铟-锡合金。本发明提供如下技术:从制造ITO溅射靶时或使用ITO溅射靶后产生的含有高纯度氧化铟-锡的废料回收铟-锡合金,并且将其制成氧化铟-氧化锡粉末,然后以该氧化铟-氧化锡粉末作为原料制造ITO靶。即,将废料直接还原成合金,并在保持所得到的合金的组成的状态下用于制造ITO,由此简化制造工序中的组成的控制和调节。另外,使铟-锡的回收仅为氧化物的还原,由此使工序简化
ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法.pdf
本发明提供一种ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法,通过溶解—熟成—pH调整—固液分离—干燥—焙烧—球磨—分级混合,最终制得的粉末粒度细,分布范围窄和均匀,团聚程度轻,粉末纯度高,呈现出单分散性,粉末收率高,可大批量生产。
导电膜氧化铟锡ITO.doc
氧化铟锡氧化铟锡(ITO,或者掺锡氧化铟)是一种铟(III族)氧化物(In2O3)and锡(IV族)氧化物(SnO2)的混合物,通常质量比为90%In2O3,10%SnO2。它在薄膜状时,为透明无色。在块状态时,它呈黄偏灰色。氧化铟锡主要的特性是其电学传导和光学透明的组合。然而,薄膜沉积中需要作出妥协,因为高浓度电荷载流子将会增加材料的电导率,但会降低它的透明度。氧化铟锡HYPERLINK"http://baike.baidu.com/view/757628.htm"\t"_blank"薄膜最通常是
导电膜氧化铟锡ITO.doc
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一种高温还原ITO废靶制备铟锡合金的方法.pdf
本发明公开了一种高温还原ITO废靶制备铟锡合金的方法,通过将块状ITO废靶进行破碎成颗粒,再将ITO废靶颗粒、还原剂和特定的造渣剂混合均匀,然后投入电弧炉中,进行还原熔炼,ITO废靶颗粒中的铟和锡进入合金液层,ITO废靶颗粒中的氧通过与还原剂反应脱除,杂质进入渣层;还原熔炼结束后,将炉内的铟锡合金和熔渣倒入铸锭模具中;待铸锭模具的温度降低后,捞出渣料,待冷却后获得铟锡合金和熔炼渣。本发明的方法不仅工艺简单、能耗低、生产成本低、生产效率高、而且在处理量达到吨级以上的水平的同时能够确保获得高的金属直收率,获得