一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法.pdf
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一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法.pdf
本发明公开了一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法,该钒铝硅三元合金靶材由钒、铝、硅三种元素构成,其原子百分含量分别为:钒20%~70%,硅1%~10%,余量为铝。本发明还包括钒铝硅三元合金靶材的一种制备方法。该方法是将符合特定计量比的钒粉、铝粉和硅粉三种粉末充分混合均匀后冷压预制成坯,然后经真空脱气处理,最后在真空气氛下于一定的温度和压力下热压成钒铝硅三元合金靶材。本发明采用的真空热压制备钒铝硅三元合金靶材方法,制备工艺简单,生产周期短,获得的靶材纯度高(纯度大于99.5%),组织均匀,致密度高(相对密度>
一种钒硅合金靶材及其制备方法.pdf
本发明提供了一种钒硅合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、硅粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与硅粉的质量配比为19:1~3:2,所述钒粉与硅粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与硅粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和硅粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒硅粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒硅合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压
一种钒钼合金靶材及其制备方法.pdf
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1~90:10,所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钼粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵
一种钒钨合金靶材及其制备方法.pdf
本发明提供了一种钒钨合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钨粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钨粉的质量配比为19:1~3:2,所述钒粉与钨粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钨粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钨粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钨粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钨合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压
一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法.pdf
本发明揭示了一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法,包括以下步骤:将镍和铬混合一同置于第一真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬中间合金熔液;将铝和钇混合一同置于第二真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到铝钇中间合金熔液;将镍铬中间合金熔液、铝钇中间合金熔液和硅混合一同置于第三真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬铝钇硅合金熔液;将镍铬铝钇硅合金熔融液体置于石墨模具中进行离心浇铸后得到镍铬铝钇硅合金靶材铸锭;将镍铬铝钇硅合金靶材铸锭依次进行退火、去氧化、机加工后,得到镍铬铝钇硅合金靶材。本发明提供的一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法,