生长大尺寸蓝宝石的单晶炉改进结构.pdf

本发明提供了一种生长大尺寸蓝宝石的单晶炉改进结构，它包括上部、侧面及底部保温结构，上部与底部保温结构与前期专利中相同，不同之处在于侧面保温结构由上下结构相同改为由上至下保温层厚度逐渐减小，鸟笼状加热体直径由上至下逐渐减小，呈倒锥形。本发明热场均匀合理，晶体生长速度稳定，可有效减少晶体产生云雾、粘埚等缺陷，工艺控制人员依赖性低，晶体生长成品率高。

2023-06-19

10

249KB

改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构.pdf

本发明提供了一种改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构。它包括炉体、炉体底座、上下体总成和用于提拉旋转籽晶杆的支架结构，上下体总成包括上体和下体，支架结构包括两端同步升降的龙门支架，龙门支架安装在炉体两侧的上下体总成之间，龙门支架有两组立柱及连接在两组立柱之间的横梁组成。本发明在传统泡生法单晶炉基础上对支架结构进行改进，形成支架结构更稳固、受力更均匀，更加适于生长大尺寸蓝宝石单晶，解决单臂支撑结构在生长大尺寸蓝宝石单晶时因晶体过重而出现的籽晶杆倾斜和丝杠弯曲，造成提拉和旋转系统瘫痪、晶体粘埚，进而使晶体的开裂问

2023-06-19

10

236KB

生长大尺寸蓝宝石单晶板材的单晶炉热场结构及方法.pdf

本发明涉及蓝宝石单晶板材制备技术，具体涉及一种生长大尺寸蓝宝石单晶板材的单晶炉热场结构及方法，解决蓝宝石制备中最后形态为大尺寸板材状的问题。生长大尺寸蓝宝石单晶板材的单晶炉热场结构及方法，包括保温箱、坩埚组、坩埚托板、支撑杆、导热杆、导热杆电机、加热体、电极、电极连接杆、坩埚盖，保温箱内设有加热体，坩埚组位于加热体之间，坩埚组包含平板形坩埚，平板形坩埚的底部呈倒梯形状，坩埚上方设有坩埚盖，最下端水平放置籽晶，在保温箱底部穿设有导热杆，导热杆上端与平板形坩埚底部接触，加热体上连接有电极以及电极连接杆。该热场

2023-05-28

10

981KB

生长大尺寸的蓝宝石单晶生长炉调节温场装置及调节方法.pdf

本发明公开了一种生长大尺寸的蓝宝石单晶生长炉调节温场装置及调节方法，本发明通过升降装置来控制坩埚托移动，从而改变坩埚、保温材料和加热器之间的相对位置，来提高蓝宝石单晶生长炉内的温度梯度，使生长炉内的温度梯度更适合生长大尺寸的蓝宝石晶体。解决了大尺寸蓝宝石单晶生长温度梯度不够，甚至温度梯度倒置的问题。

2023-06-19

10

356KB

一种大尺寸蓝宝石单晶炉的上隔热屏结构.pdf

本发明涉及一种大尺寸蓝宝石单晶炉的上隔热屏结构，该结构整体由不锈钢支架、钼螺杆、堆叠在一起呈梯形的钼片和间隔钼片用的支撑结构组成。其特征在于不锈钢支架分内外圈，内圈和外圈均匀分布圆形通孔；钼螺杆两端均有螺纹，上部安装不锈钢螺母，下部安装钼螺母；钼片组合在一起呈梯形，中间留有长方形观察孔；每个钼片之间用支撑结构间隔，支撑结构由一定宽度的钼条卷成圆形桶状。安装时钼螺杆穿过不锈钢支架、多层钼片和钼片间的支撑结构，由两端的螺母旋紧固定。该大尺寸蓝宝石单晶炉的上隔热屏结构可以增强上部保温效果，增大上部径向温度梯度，

2023-06-18

10

363KB